[實用新型]一種用于自動定位和對中夾持單晶硅棒的機構

有效

• 申請號: 201720957797.3
• 申請日: 2017-08-02
• 公開（公告）號: CN207224319U
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 曹建偉;傅林堅;沈文杰;盧嘉彬;謝永旭;邱文杰;張正良;陳志聰
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司33212
• 代理人: 周世駿

1.一種用于自動定位和對中夾持單晶硅棒的機構，包括用于支撐和傳送單晶硅棒的硅棒支撐滾輪；其特征在于，該機構還包括至少兩組對中夾持裝置，以及分別設于兩組絲杠導軌組件上的吸盤移動定位組件和上料臺移動支撐組件以用于實現自動定位；

所述吸盤移動定位組件有一個中空的鑄造支撐框架，鑄造支撐框架內部裝有氣缸；在與氣缸相對的鑄造支撐框架外側面上設置沉孔，沉孔內置吸盤，吸盤的尾部通過吸盤連接桿接至氣缸；在沉孔同側的鑄造支撐框架上，裝有一個接觸式傳感器；鑄造支撐框架的底部通過絲桿螺母座安裝在第一絲杠導軌組件上，第一驅動電機通過第一減速機裝在第一絲杠導軌組件的末端；

所述上料臺移動支撐組件包括安裝在第二絲杠導軌組件上的焊接支撐平臺，第二驅動電機通過第二減速機裝在第二絲杠導軌組件的末端；所述硅棒支撐滾輪有兩排，平行設于焊接支撐平臺上；

所述對中夾持裝置包括固定安裝在所述焊接支撐平臺上的焊接支架，焊接支架上固定安裝有氣動馬達和對中夾持機械手組件；氣動馬達通過蝸輪蝸桿減速機與對中夾持機械手組件相接，用于夾持單晶硅棒；

第一絲杠導軌組件與第二絲杠導軌組件頭尾相對設置且位于同一軸線上，使吸盤移動定位組件中的吸盤能與被對中夾持機械手組件所夾持的單晶硅棒的端面相對。

2.根據權利要求1所述的機構，其特征在于，在焊接支撐平臺的兩端各布置一組對中夾持裝置。

3.根據權利要求1所述的機構，其特征在于，所述對中夾持機械手組件包括左右兩個機械手爪和左右旋絲桿導軌組件，蝸輪蝸桿減速機與左右旋絲桿導軌組件相接以驅動兩個機械手爪轉動；兩個機械手爪的中心線高于置于硅棒支撐滾輪上的單晶硅棒的中心線。

4.根據權利要求1所述的機構，其特征在于，所述接觸式傳感器安裝在鑄造支撐框架的安裝孔中，使其最外端低于鑄造支撐框架的表面；在安裝孔的外部設有防水防塵罩殼，防水防塵罩殼能發生變形并觸發接觸式傳感器。

5.根據權利要求1所述的機構，其特征在于，在吸盤上還設有吸盤氣管接頭，并通過管路接至供氣抽氣系統。

6.根據權利要求1所述的機構，其特征在于，所述對中夾持裝置還包括用于限制對中夾持機械手組件行程的限位機構，以及用于檢測對中夾持機械手組件中是否有單晶的硅棒檢測機構。