[實用新型]具有分級充氣機構的質譜檢漏設備

有效

• 申請號: 201720940587.3
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN207066690U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 龍超祥
• 申請（專利權）人: 深圳市遠望工業自動化設備有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 深圳市惠邦知識產權代理事務所44271
• 代理人: 孫大勇

技術領域

本實用新型涉及箱體密封性檢測技術領域，尤其涉及一種具有分級充氣機構的質譜檢漏設備。

背景技術

質譜檢漏技術已在科研和工業部門得到廣泛應用，其主要優點是可在各種檢測工況條件下實現泄漏率的定量檢測，且其檢漏分辨率高、測量范圍廣，特別適用于微小泄漏率的精確測定。然而現有技術的質譜檢漏法不適用于大泄漏的檢測，為了防止被測件有大泄漏，大量示蹤氣體的泄漏容易充壞質譜儀，往往在進行質譜檢漏之前使用壓降法對被測件進行大漏檢測，其設備及工藝流程復雜，不適應現代化工業的發展。

實用新型內容

本實用新型正是基于以上一個或多個問題，提供一種具有分級充氣機構的質譜檢漏設備，用以解決現有技術中設備及工藝流程復雜的問題。

本實用新型提供一種具有分級充氣機構的質譜檢漏設備，用于檢測待測箱體的氣密性，其包括：真空腔體、分級充氣機構、示蹤氣體源及控制裝置；

所述真空腔體內設置有用于容納所述待測箱體的容納腔；

所述分級充氣機構包括第一充氣支路及第二充氣支路，所述第一充氣支路包括第一示蹤氣體供應閥，所述第一示蹤氣體供應閥的輸入端與所述示蹤氣體源導通連接，所述第一示蹤氣體供應閥的輸出端用于與所述待測箱體導通連接，所述第一示蹤氣體供應閥用于控制所述示蹤氣體的第一輸出量；

所述第二充氣支路包括第二示蹤氣體供應閥，所述第二示蹤氣體供應閥的輸入端與所述示蹤氣體源導通連接，所述第二示蹤氣體供應閥的輸出端用于與所述待測箱體導通連接，所述第二示蹤氣體供應閥用于控制所述示蹤氣體的第二輸出量，所述第二輸出量大于所述第一輸出量；

所述控制裝置與所述第一示蹤氣體供應閥及所述第二示蹤氣體供應閥電連接，以控制所述第一示蹤氣體供應閥及所述第二示蹤氣體供應閥開啟與關閉。

綜上所述，本實用新型的具有分級充氣機構的質譜檢漏設備通過所述第一充氣支路與所述第二充氣支路的配合，當開始向所述待測箱體充入所述示蹤氣體時，所述控制裝置控制所述第一示蹤氣體供應閥打開，關閉所述第二示蹤氣體供應閥，以通過所述第一示蹤氣體供應閥向所述待測箱體內充入少量示蹤氣體，若所述待測箱體密封性較差，則所述質譜檢漏裝置很快就能檢測出來。若不能立即檢測出所述待測箱體泄漏，則控制裝置控制所述第一示蹤氣體供應閥關閉，打開所述第二示蹤氣體供應閥，通過所述第二示蹤氣體供應閥向所述待測箱體輸送大量的示蹤氣體，然后所述質譜檢漏裝置再檢測所述待測箱體的氣密性，從而不僅可提高檢測效率，而且較好避免誤判，設備結構及工藝流程簡單。

附圖說明

圖1是本實用新型的具有連接頭的質譜檢漏設備的結構示意圖；

圖2是本實用新型的支撐架、真空腔體及升降機構相互配合時的結構示意圖；

圖3是本實用新型上蓋體的結構示意圖；

圖4是本實用新型下蓋體的結構示意圖；

圖5是圖2所示A區域的放大圖；

圖6是圖2所示B區域的放大圖；

圖7是本實用新型的連接頭的結構示意圖；

圖8是本實用新型的連接頭的剖面圖；

圖9是本實用新型的連接頭的爆炸圖；

圖10是本實用新型的部分結構與待測箱體配合時的連接結構示意圖；

圖11是本實用新型的部分結構與待測箱體配合時的連接結構示意圖；

圖12是本實用新型第二實施例的流程圖；

圖13是本實用新型第三實施例的流程圖；

圖14是本實用新型第四實施例的流程圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型進行詳細說明。需要說明的是，如果不沖突，本實用新型實施例以及實施例中的各個特征可以相互結合，均在本實用新型的保護范圍之內。

實施例一

請參閱圖1、圖10及圖11，本實用新型提供一種具有分級充氣機構40的質譜檢漏設備，用于檢測待測箱體20a的氣密性，所述待測箱體20a可以是變速箱、水箱或油箱等具有氣密性要求的箱體。所述質譜檢漏設備包括支撐架10、光柵傳感器11、真空腔體20、升降機構30、分級抽氣機構40、示蹤氣體源50、分級充氣機構60、質譜檢漏裝置70、氣體回收機構80及控制裝置90。