[實用新型]具有分級充氣機構的質譜檢漏設備

有效

• 申請號: 201720940587.3
• 申請日: 2017-07-31
• 公開（公告）號: CN207066690U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 龍超祥
• 申請（專利權）人: 深圳市遠望工業自動化設備有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 深圳市惠邦知識產權代理事務所44271
• 代理人: 孫大勇

1.一種具有分級充氣機構的質譜檢漏設備，用于檢測待測箱體的氣密性，其特征在于，包括：真空腔體、分級充氣機構、示蹤氣體源及控制裝置；

所述真空腔體內設置有用于容納所述待測箱體的容納腔；

所述分級充氣機構包括第一充氣支路及第二充氣支路，所述第一充氣支路包括第一示蹤氣體供應閥，所述第一示蹤氣體供應閥的輸入端與所述示蹤氣體源導通連接，所述第一示蹤氣體供應閥的輸出端用于與所述待測箱體導通連接，所述第一示蹤氣體供應閥用于控制所述示蹤氣體的第一輸出量；

所述第二充氣支路包括第二示蹤氣體供應閥，所述第二示蹤氣體供應閥的輸入端與所述示蹤氣體源導通連接，所述第二示蹤氣體供應閥的輸出端用于與所述待測箱體導通連接，所述第二示蹤氣體供應閥用于控制所述示蹤氣體的第二輸出量，所述第二輸出量大于所述第一輸出量；

所述控制裝置與所述第一示蹤氣體供應閥及所述第二示蹤氣體供應閥電連接，以控制所述第一示蹤氣體供應閥及所述第二示蹤氣體供應閥開啟與關閉。

2.如權利要求1所述的具有分級充氣機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述第一充氣支路還包括第一緩沖罐，所述第一緩沖罐與所述示蹤氣體源及所述第一示蹤氣體供應閥導通連接，用于暫存所述示蹤氣體源輸送過來的示蹤氣體以緩沖示蹤氣體壓力波動。

3.如權利要求2所述的具有分級充氣機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述質譜檢漏設備還包括快充壓力開關，所述示蹤氣體源包括高壓示蹤氣體罐及示蹤氣體快充閥；所述示蹤氣體快充閥的輸入端與所述高壓示蹤氣體罐導通連接，所述示蹤氣體快充閥的輸出端與所述第一緩沖罐的輸入端及所述第二示蹤氣體供應閥的輸入端導通連接，所述快充壓力開關與所述第一緩沖罐的輸出端導通連接，用于監測所述第一緩沖罐內的氣壓并將所述第一緩沖罐內的氣壓信息傳送給所述控制裝置；所述控制裝置與所述快充壓力開關及所述示蹤氣體快充閥電連接，用于在當所述第一緩沖罐內的氣壓小于預設值時控制所述示蹤氣體快充閥打開，以使第一緩沖罐氣壓保持在預設范圍內。

4.如權利要求3所述的具有分級充氣機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述質譜檢漏設備還包括與所述控制裝置電連接的絕壓傳感器，所述絕壓傳感器與所述示蹤氣體快充閥的輸出端導通連接，用于監測從所述示蹤氣體快充閥排出的示蹤氣體的氣壓。

5.如權利要求3所述的具有分級充氣機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述第一充氣支路還包括節流閥，所述節流閥的輸入端與第一緩沖罐導通連接，所述節流閥的輸出端與所述第一示蹤氣體供應閥導通連接。

6.如權利要求1所述的具有分級充氣機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述質譜檢漏設備還包括連接頭，所述連接頭與所述真空腔體相連并與所述示蹤氣體源導通連接，用于將所述示蹤氣體源內的示蹤氣體導入所述容納腔中的所述待測箱體內；

所述連接頭包括外套管、限位套管、彈性密封套、限位蓋及活塞，所述限位套管的一端插設在所述外套管內，所述限位套管的另一端延伸至所述外套管外，所述彈性密封套插設在所述限位套管內，所述限位蓋蓋設在所述限位套管背向所述外套管的一端，以阻礙所述彈性密封套朝背向所述外套管的方向運動；所述活塞包括中空的塞柱及位于所述塞柱外周面處的阻擋部，所述塞柱的一端活動插設在所述外套管內，所述塞柱的另一端活動插設在所述限位套管內，所述外套管的管壁處設置有導氣孔，所述導氣孔的一端與所述外套管的外表面相連通，所述導氣孔的另一端與所述外套管的內壁面相連通并位于所述阻擋部背向所述彈性密封套的一側，所述導氣孔用于在將壓縮氣體通過所述導氣孔注入所述外套管內時，所述壓縮氣體推動所述活塞朝所述彈性密封套運動，所述彈性密封套受到所述活塞擠壓而變形。

7.根據權利要求6所述的具有分級充氣機構的質譜檢漏設備，其特征在于，所述連接頭還包括緩沖墊，所述緩沖墊套設在所述塞柱上并位于所述限位套管的端面及所述阻擋部之間；

所述緩沖墊及所述阻擋部均呈環形，所述緩沖墊面向所述阻擋部的端面與所述阻擋部相貼合；當所述彈性密封套受到所述活塞的擠壓而呈壓縮狀態時，所述緩沖墊面向所述限位套管的端面與所述限位套管彈性抵接，當所述彈性密封套完全伸開時，所述緩沖墊面向所述限位套管的端面與所述限位套管間隔預設距離。