[實用新型]一種高溫氧化爐晶舟

有效

• 申請號: 201720931876.7
• 申請日: 2017-07-28
• 公開（公告）號: CN207134341U
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發明（設計）人: 王志良;裴雷洪;俞瑋
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 上海申新律師事務所31272
• 代理人: 俞滌炯

技術領域

本實用新型涉及一種半導體工藝設備，尤其涉及一種高溫氧化爐晶舟。

背景技術

在半導體制造工藝中需要在晶片的襯底上沉積不同種類的薄膜，而在各種沉積薄膜的方法中，低壓化學氣相沉積是一種常用的方法，已經被廣泛應用到各種薄膜的沉積工藝中。

為提高工藝產品晶片的成膜均勻性，高溫氧化爐晶舟上下蓋板之間均勻分布有環形片裝石英，導致高溫氧化爐晶舟整體重量較沉；由于晶舟上缺少合適的搬運用力點，維護人員在進行晶舟拆裝時，只能將雙手分別置于晶舟上蓋板與其下方的環形片狀石英之間的加強筋部分進行晶舟搬運，但由于該部分空間較小，經常會出現維護人員因用力不勻觸碰到晶舟上蓋板下面的環形片狀石英部分，導致該石英環因受搬運外力作用而碎裂，從而導致整個晶舟因石英環碎裂而報廢。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術的缺陷，提供一種既能使晶舟方便搬運而又不影響晶片的成膜均勻性的高溫氧化爐晶舟。

本實用新型為解決上述技術問題采用以下技術方案：

一種高溫氧化爐晶舟，包括彼此平行設置的上蓋板、下蓋板和帶卡合件的片狀環；還包括連接所述上蓋板、下蓋板和片狀環，頂端設可拆卸連接部的連接柱；與所述連接柱通過可拆卸連接部連接的圓弧形手柄。

為了進一步優化上述技術方案，本實用新型所采取的技術措施為：

優選的，所述可拆卸連接部為連接柱連接部和手柄連接部，以及連接所述連接柱連接部和手柄連接部的連接件。

優選的，所述連接柱連接部與手柄連接部設外螺紋；所述連接件為設與所述外螺紋適配的兩端帶內螺紋孔的圓柱形連接件。

優選的，連接件中間段設六角形著力段。

優選的，所述連接柱連接部設十字型孔或十字型槽。

優選的，所述連接柱連接部為正面中間設水平長方形通孔、背面中間設橫向與所述長方形通孔連通，豎向延伸至上下表面的十字型凹槽的長方體狀連接柱連接部；所述手柄連接部底端連接與所述長方形通孔大小適配的轉動桿。

優選的，還包括橫向桿，所述十字型凹槽的橫向凹槽與左右兩側面設與所述橫向桿適配的連接通孔，并在手柄連接部與所述連接通孔適配位置設手柄通孔；橫向桿穿過連接通孔和手柄通孔將手柄連接部和連接柱連接部固定連接。

優選的，還包括橫向桿，所述連接柱連接部設十字型通孔，橫向通孔與所述橫向桿適配，豎向通孔與手柄連接部大小適配，所述手柄連接部與橫向桿適配位置設手柄通孔。

優選的，所述橫向桿長度比所述連接柱連接部長。

優選的，所述上蓋板、下蓋板、片狀環、手柄、連接柱和可拆卸連接部均為石英材質。

本實用新型采用以上技術方案，與現有技術相比，具有如下技術效果：

本實用新型通過在晶舟上蓋板設置圓弧狀石英手柄，作為高溫氧化爐晶舟維護時的搬運用力點，可極大地方便高溫氧化爐晶舟的安裝及拆除，并有效地保護晶舟環形片狀石英不受到人力搬運的外力作用。由于帶圓弧狀石英手柄的晶舟在高溫氧化爐內反應時會阻擋氣流的流動路徑，影響反應時的成膜均勻性，造成靠手柄側的反應不均勻，本實用新型在將高溫氧化爐晶舟放入爐內后，能將手柄拆卸掉，從而不影響晶舟的正常反應；本實用新型的拆卸方式簡單方便，耗時短，實用性高。

附圖說明

圖1為本實用新型的一種優選實施例的高溫氧化爐晶舟的立體直立圖；

圖2為本實用新型的一種優選實施例的高溫氧化爐晶舟的立體圖；

圖3為本實用新型的一種優選實施例的高溫氧化爐晶舟的正面結構示意圖；

圖4為本實用新型的一種優選實施例的高溫氧化爐晶舟的側面結構示意圖；

圖5為本實用新型的一種優選實施例的可拆卸連接部的結構示意圖；

圖6為本實用新型的一種優選實施例的可拆卸連接部的結構示意圖；

圖7為本實用新型的一種優選實施例的可拆卸連接部的連接結構示意圖；

圖8為本實用新型的一種優選實施例的連接柱連接部和橫向桿的結構示意圖；

圖9為本實用新型的一種優選實施例的連接柱連接部和橫向桿的連接結構示意圖；

圖10為本實用新型的一種優選實施例的手柄連接部的正面結構示意圖；

圖11為本實用新型的一種優選實施例的手柄連接部的側面結構示意圖；

圖12為本實用新型的一種優選實施例的可拆卸連接部的正面結構示意圖；

圖13為本實用新型的一種優選實施例的可拆卸連接部的側面結構示意圖；