[實用新型]一種高溫氧化爐晶舟

有效

• 申請號: 201720931876.7
• 申請日: 2017-07-28
• 公開（公告）號: CN207134341U
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發明（設計）人: 王志良;裴雷洪;俞瑋
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 上海申新律師事務所31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種高溫氧化爐晶舟，其特征在于：包括彼此平行設置的上蓋板(1)、下蓋板(2)和帶卡合件(31)的片狀環(3)；還包括連接所述上蓋板(1)、下蓋板(2)和片狀環(3)，頂端設可拆卸連接部(4)的連接柱(5)；與所述連接柱(5)通過可拆卸連接部(4)連接的圓弧形手柄(6)；所述可拆卸連接部(4)包括連接柱連接部(51)和手柄連接部(61)。

2.根據權利要求1所述的高溫氧化爐晶舟，其特征在于：所述可拆卸連接部(4)還包括連接所述連接柱連接部(51)和手柄連接部(61)的連接件(41)。

3.根據權利要求2所述的高溫氧化爐晶舟，其特征在于：所述連接柱連接部(51)與手柄連接部(61)設外螺紋；所述連接件(41)為設與所述外螺紋適配的兩端帶內螺紋孔的圓柱形連接件(41)。

4.根據權利要求3所述的高溫氧化爐晶舟，其特征在于：所述連接件(41)中間段設六角形著力段。

5.根據權利要求1所述的高溫氧化爐晶舟，其特征在于：所述連接柱連接部(51)設十字型孔或十字型槽。

6.根據權利要求5所述的高溫氧化爐晶舟，其特征在于：所述連接柱連接部(51)為正面中間設水平長方形通孔(52)、背面中間設橫向與所述長方形通孔連通，豎向延伸至上下表面的十字型凹槽(53)的長方體狀連接柱連接部(51)；所述手柄連接部(61)底端連接與所述長方形通孔(52)大小適配的轉動桿(62)。

7.根據權利要求6所述的高溫氧化爐晶舟，其特征在于：還包括橫向桿(7)，所述十字型凹槽(53)的橫向凹槽與連接柱連接部(51)的左右兩側面設與所述橫向桿(7)適配的連接通孔(54)，并在手柄連接部(61)與所述連接通孔(54)適配位置設手柄通孔(63)；橫向桿(7)穿過連接通孔(54)和手柄通孔(63)將手柄連接部(61)和連接柱連接部(51)固定連接。

8.根據權利要求5所述的高溫氧化爐晶舟，其特征在于：還包括橫向桿(7)，所述連接柱連接部(51)設十字型通孔，所述十字型通孔的橫向通孔與所述橫向桿(7)適配，豎向通孔與手柄連接部(61)大小適配，所述手柄連接部(61)與橫向桿(7)適配位置設手柄通孔(63)。

9.根據權利要求8所述的高溫氧化爐晶舟，其特征在于：所述橫向桿(7)長度比所述連接柱連接部(51)長。

10.根據權利要求9所述的高溫氧化爐晶舟，其特征在于：所述上蓋板(1)、下蓋板(2)、片狀環(3)、手柄(6)、連接柱(5)和可拆卸連接部(4)均為石英材質。