[實用新型]一種剝離犧牲板治具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720929915.X | 申請日: | 2017-07-28 |
| 公開(公告)號: | CN207116407U | 公開(公告)日: | 2018-03-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王俊 | 申請(專利權(quán))人: | 江蘇長電科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 江陰市揚子專利代理事務(wù)所(普通合伙)32309 | 代理人: | 周彩鈞 |
| 地址: | 214434 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 剝離 犧牲 板治具 | ||
1.一種剝離犧牲板治具,其特征在于:它包括支架(1),所述支架(1)上設(shè)置有上料機構(gòu)(2)和分離機構(gòu)(3),所述分離機構(gòu)(3)位于上料機構(gòu)(2)前側(cè);
所述支架(1)包括底板(11),所述底板(11)上設(shè)置有第一支架(12)和第二支架(13),所述第一支架(12)位于第二支架(13)前側(cè);
所述上料機構(gòu)(2)包括左右兩個流道支架(21),左右兩個流道支架(21)設(shè)置于第一支架(12)和第二支架(13)內(nèi)側(cè),左右兩個流道支架(21)之間形成流道(22),所述流道(22)包括從后往前依次布置的皮帶輸送區(qū)域(221)、金屬輪輸送區(qū)域(222)和過渡區(qū)域(223);
所述皮帶輸送區(qū)域(221)設(shè)置有兩對傳送皮帶輪(23),所述兩對傳送皮帶輪(23)分別設(shè)置于流道支架(21)內(nèi)側(cè),兩對傳送皮帶輪(23)均前后水平布置,所述兩對傳送皮帶輪(23)均各自通過傳送皮帶(24)相連接,后側(cè)的兩個傳送皮帶輪(23)設(shè)置有皮帶輪傳送軸(25);
所述金屬輪輸送區(qū)域(222)設(shè)置有傳送模組(26),所述傳送模組(26)包括相互平行布置的第一從動軸(261)、第二從動軸(262)、第三從動軸(263)和第四從動軸(264),其中第一從動軸(261)和第二從動軸(262)位于同一水平線上,第三從動軸(263)和第四從動軸(264)位于同一水平線上,第三從動軸(263)和第四從動軸(264)分別位于第一從動軸(261)和第二從動軸(262)正上方,第一支架(12)外側(cè)設(shè)置有傳送電機(265),傳送電機(265)輸出端設(shè)置有主動齒輪(266),第一從動軸(261)、第二從動軸(262)、第三從動軸(263)和第四從動軸(264)端部分別設(shè)置有第一從動齒輪(267)、第二從動齒輪(268)、第三從動齒輪(269)和第四從動齒輪(2610),第一從動齒輪(267)和第二從動齒輪(268)均與主動齒輪(266)相嚙合,所述第三從動齒輪(269)與第一從動齒輪(267)相嚙合,所述第四從動齒輪(2610)與第二從動齒輪(268)相嚙合,所述第一從動軸(261)、第二從動軸(262)、第三從動軸(263)和第四從動軸(264)上均設(shè)置有金屬壓輪組(2611);
所述分離機構(gòu)(3)包括分離壓輪傳送軸(31),所述分離壓輪傳送軸(31)與第一從動軸(261)之間通過第二鏈傳動機構(gòu)(210)相連接,所述分離壓輪傳送軸(31)上設(shè)置有分離壓輪組(32),所述分離壓輪傳送軸(31)前側(cè)設(shè)置有豎直支撐板(33),所述豎直支撐板(33)上設(shè)置有分離板氣缸(34),所述分離板氣缸(34)上端設(shè)置有分離板(35)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種剝離犧牲板治具,其特征在于:所述第二從動軸(262)與皮帶輪傳送軸(25)之間通過第一鏈傳動機構(gòu)(27)相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種剝離犧牲板治具,其特征在于:所述分離板(35)包括產(chǎn)品傳送部(351)、犧牲板傳送部(352)、分離部(353)和豎直導向板(354),所述產(chǎn)品傳送部(351)沿水平面布置并與產(chǎn)品收料機構(gòu)相連接,所述犧牲板傳送部(352)傾斜布置于產(chǎn)品傳送部(351)下側(cè),所述產(chǎn)品傳送部(351)和犧牲板傳送部(352)交接處設(shè)置有分離部(353),所述分離部(353)的上表面水平延伸至產(chǎn)品傳送部(351),所述分離部(353)下表面延伸至犧牲板傳送部(352),所述產(chǎn)品傳送部(351)下側(cè)及犧牲板傳送部(352)前側(cè)設(shè)置有豎直導向板(354),所述豎直導向板(354)與廢料收集機構(gòu)相連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種剝離犧牲板治具,其特征在于:所述產(chǎn)品傳送部(351)、犧牲板傳送部(352)、分離部(353)和豎直導向板(354)為一體結(jié)構(gòu),所述產(chǎn)品傳送部(351)與豎直導向板(354)形成的直角角落處固定在分離板氣缸34上端。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種剝離犧牲板治具,其特征在于:所述過渡區(qū)域(223)設(shè)置有上限位板(28)和下限位板(29)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種剝離犧牲板治具,其特征在于:所述上限位板(28)上設(shè)置有感應(yīng)傳感器(211)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種剝離犧牲板治具,其特征在于:所述皮帶輪傳送軸(25)架設(shè)于第二支架(13)上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





