[實用新型]曝光機的光學裝置有效
| 申請號: | 201720929820.8 | 申請日: | 2017-07-28 |
| 公開(公告)號: | CN207516722U | 公開(公告)日: | 2018-06-19 |
| 發明(設計)人: | 李致齊 | 申請(專利權)人: | 科毅科技股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228 | 代理人: | 黃挺 |
| 地址: | 中國臺灣桃園市*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 發光二極管燈板 轉向反射鏡 復眼透鏡組 投射 光學裝置 投射路徑 曝光機 配置 本實用新型 層疊排列 垂直投射 光束反射 水平光束 平行光 | ||
1.一種曝光機的光學裝置,其特征在于,包含:
一發光二極管燈板,用以朝向一水平方向投射一光束;
一復眼透鏡組,配置在所述發光二極管燈板的投射路徑上且與所述發光二極管燈板層疊排列;及
一轉向反射鏡,配置在所述發光二極管燈板的投射路徑上且所述復眼透鏡組配置在所述發光二極管燈板與所述轉向反射鏡之間,所述轉向反射鏡用以將所述發光二極管燈板投射的所述光束反射而向下轉向一垂直方向。
2.如權利要求1所述的曝光機的光學裝置,其特征在于,其中所述復眼透鏡組包含一聚光復眼透鏡,所述聚光復眼透鏡配置在所述發光二極管燈板的投射路徑上用以聚集所述發光二極管燈板發出的所述光束。
3.如權利要求2所述的曝光機的光學裝置,其特征在于,其中所述聚光復眼透鏡與所述發光二極管燈板緊鄰且相互間隔配置。
4.如權利要求2所述的曝光機的光學裝置,其特征在于,其中所述復眼透鏡組包含一均化復眼透鏡,所述均化復眼透鏡配置在所述發光二極管燈板的投射路徑上,且所述聚光復眼透鏡配置在所述發光二極管燈板與所述均化復眼透鏡之間,所述均化復眼透鏡用以均化通過所述聚光復眼透鏡聚集的所述光束。
5.如權利要求4所述的曝光機的光學裝置,其特征在于,其中所述均化復眼透鏡與所述聚光復眼透鏡緊鄰且相互間隔配置。
6.如權利要求4所述的曝光機的光學裝置,其特征在于,其中所述聚光復眼透鏡為數個子聚光透鏡排列構成,所述均化復眼透鏡為數個子均化透鏡排列構成,且所述子均化透鏡的單位面積排列密度大于所述子聚光透鏡的單位面積排列密度。
7.如權利要求1所述的曝光機的光學裝置,其特征在于,還包含一聚光透鏡,所述聚光透鏡配置在所述發光二極管燈板的投射路徑上用以聚集所述轉向反射鏡反射的所述光束。
8.如權利要求1所述的曝光機的光學裝置,其特征在于,還包含一光圈,所述光圈配置在所述發光二極管燈板的投射路徑上用以限制所述光束的投射截面范圍。
9.如權利要求1所述的曝光機的光學裝置,其特征在于,其中所述轉向反射鏡為平面鏡。
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