[實用新型]全自動擴膜機

有效

• 申請號: 201720913329.6
• 申請日: 2017-07-26
• 公開（公告）號: CN207097786U
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 魏峰;蔡家豪;馬建華;吳釗;陳明浩;魏瑩;王亞杰;邱智中;張家宏
• 申請（專利權）人: 安徽三安光電有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.全自動擴膜機，至少包括平臺，位于所述平臺上的進料區、擴膜機構、出料區，以及主控單元，所述擴膜機構位于進料區和出料區的中間，所述進料區和出料區分別放置有存放晶片的第一料盒和第二料盒，所述主控單元控制擴膜機的運作，其特征在于：還包括第一夾取機構和第二夾取機構，所述第一夾取機構的頂端包括感應晶片位置的第一感應裝置，所述第二夾取機構頂端包括吸附晶片的真空吸附裝置，所述擴膜機構上設置有復數個感應擴膜尺寸的第二感應裝置，所述擴膜機構上方還設置有掃描裝置以及抓取晶粒的第三夾取機構。

2.根據權利要求1所述的全自動擴膜機，其特征在于：所述第一感應裝置、第二感應裝置均為光電感應裝置。

3.根據權利要求1所述的全自動擴膜機，其特征在于：所述第一感應裝置、第二感應裝置均包括一光源和一傳感器。

4.根據權利要求1所述的全自動擴膜機，其特征在于：所述擴膜機構至少包括放置晶片的載臺，以及置于所述載臺上方的下壓環。

5.根據權利要求4所述的全自動擴膜機，其特征在于：所述第二感應裝置包括分布于載臺外周的復數個傳感器和分布于所述下壓環上的復數個光源，所述光源與傳感器位置對應。

6.根據權利要求5所述的全自動擴膜機，其特征在于：所述下壓環上設置有呈“十”字排列的滑軌，所述復數個光源置于所述滑軌上，并沿滑軌移動。

7.根據權利要求5所述的全自動擴膜機，其特征在于：所述第二感應裝置的數目大于或等于4。

8.根據權利要求1所述的全自動擴膜機，其特征在于：所述第三夾取機構頂端具有吸附晶粒的吸嘴。

9.根據權利要求1所述的全自動擴膜機，其特征在于：所述掃描裝置為CCD。