[實(shí)用新型]一種硅片清洗周轉(zhuǎn)盤(pán)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720911481.0
• 申請(qǐng)日: 2017-07-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206976300U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐明星
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 山東芯諾電子科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 青島發(fā)思特專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司37212
• 代理人: 盧登濤

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其是一種硅片清洗周轉(zhuǎn)盤(pán)。

背景技術(shù)

目前，硅片清洗周轉(zhuǎn)盒是硅片清洗過(guò)程中用來(lái)暫時(shí)存放脫膠后硅片的輔助工具。

現(xiàn)有的硅片清洗周轉(zhuǎn)盒子為長(zhǎng)方形塑料盒，使用時(shí)將塑料盒子中放滿(mǎn)水，然后直接將脫膠后的硅片豎直放入盒中，并將硅片的一面斜靠在塑料盒邊沿內(nèi)側(cè)，硅片與塑料盒邊沿內(nèi)側(cè)呈線接觸，這種結(jié)構(gòu)堆疊硅片數(shù)量少還能使用，若堆疊的硅片數(shù)量較多，硅片疊在一起產(chǎn)生的壓力較大，作用在最底下緊靠塑料盒邊沿內(nèi)側(cè)的硅片上，容易造成硅片碎裂。

同時(shí)由于塑料盒底部比較光滑，斜靠的硅片容易滑倒，從而使得硅片沉入塑料盒底部而難以取出，且容易產(chǎn)生碎片。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決以上技術(shù)上的不足，本實(shí)用新型提供了一種便于硅片的取放操作的硅片清洗周轉(zhuǎn)盒。

本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種硅片清洗周轉(zhuǎn)盤(pán)，包括底座、支撐板、兩個(gè)放置架，所述支撐板豎直設(shè)置在底座中軸線上，支撐板兩側(cè)分別設(shè)置所述的兩個(gè)放置架，所述放置架均包括兩個(gè)相對(duì)的硅片放置部，硅片放置部由互成銳角夾角的放置架側(cè)板和放置架底板圍成，兩個(gè)硅片放置部連接使放置架縱剖面呈W形。

所述放置架前后側(cè)均設(shè)置有擋板兩個(gè)硅片放置部的連接處設(shè)有擋板。

所述擋板的頂部低于放置架的頂部。

所述放置架內(nèi)表面鋪設(shè)有橡膠墊。

所述支撐板頂部設(shè)置有提手。

所述兩個(gè)硅片放置部的連接處設(shè)有隔板。

所述放置架側(cè)板和放置架底板成角45°-90°。

采用如上技術(shù)方案取得的有益技術(shù)效果為：

放置架側(cè)板和放置架底板成角45°-90°。形成傾斜面，便于硅片傾斜放置。

放置架內(nèi)表面鋪設(shè)有橡膠墊。而且橡膠墊能有效減小操作過(guò)程中硅片所受壓力和沖擊力，從而降低操作過(guò)程中的碎片率。

由于擋板的頂部低于放置架的頂部，取硅片時(shí)雙手握住硅片兩端輕輕上提即可，比較方便。

兩個(gè)放置架上有四個(gè)硅片放置部，其分格的構(gòu)造使得每格所放的硅片數(shù)量有所限制，可有效減小硅片之間的壓力及摩擦力。

本使用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，硅片清洗周轉(zhuǎn)方便，而且碎片率低。

附圖說(shuō)明

圖1為硅片清洗周轉(zhuǎn)盤(pán)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的A-A剖視圖。

圖中，1、底座，2、支撐板，3、放置架，4、硅片，5、硅片放置部，6、隔板，7、提手，8、擋板。

具體實(shí)施方式

結(jié)合附圖1至2對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做進(jìn)一步說(shuō)明：

一種硅片清洗周轉(zhuǎn)盒，包括底座、豎直設(shè)置在底座1中軸線上的支撐板2、兩個(gè)放置架。支撐板2左右兩側(cè)的底座1上均設(shè)置縱剖面為W形的放置架3，兩個(gè)放置架3前后側(cè)均設(shè)置有擋板8，擋板8的頂部低于放置架3的頂部，每個(gè)放置架3包括兩個(gè)相對(duì)的硅片放置部5并且兩個(gè)硅片放置部5之間設(shè)置有隔板6，每個(gè)硅片放置部5由互成銳角夾角的放置架3側(cè)板和放置架3底板圍成。

所述放置架側(cè)板和放置架底板成角45°-90°。形成傾斜面，便于硅片傾斜放置。

放置架3內(nèi)表面鋪設(shè)有橡膠墊。而且橡膠墊能有效減小操作過(guò)程中硅片4所受壓力和沖擊力，從而降低操作過(guò)程中的碎片率。

支撐板2頂部設(shè)置有提手7。硅片兩邊留有握取空間，便于硅片的取放操作。

放置架側(cè)板和放置架底板與底座之間、放置架側(cè)板和支撐板之間均采用焊接固定。

實(shí)際使用時(shí)，先在硅片清洗周轉(zhuǎn)盒中注滿(mǎn)水。放置硅片4時(shí)可將硅片4輕輕放到放置架3內(nèi)的硅片放置部，并且將硅片4緩緩平靠在硅片放置部5的放置架3側(cè)板上，由于硅片放置部的放置架3底板向上翹起，使多個(gè)硅片4聚攏并平靠在一側(cè)的橡膠墊上而不易滑動(dòng)。而且橡膠墊能有效減小操作過(guò)程中硅片4所受壓力和沖擊力，從而降低操作過(guò)程中的碎片率。放置架3上由四個(gè)硅片放置部5，其分格的構(gòu)造使得每格所放的硅片4數(shù)量有所限制，可有效減小硅片4之間的壓力及摩擦力。由于擋板8的頂部低于放置架3的頂部，取硅片4時(shí)雙手握住硅片4兩端輕輕上提即可，比較方便。等硅片4完全提出水面，硅片取出后平放即可，防止硅片4滑落。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，硅片清洗周轉(zhuǎn)方便，而且碎片率低。

在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“頂”、“底”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

當(dāng)然，以上說(shuō)明僅僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，本實(shí)用新型并不限于列舉上述實(shí)施例，應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本說(shuō)明書(shū)的指導(dǎo)下，所做出的所有等同替代、明顯變形形式，均落在本說(shuō)明書(shū)的實(shí)質(zhì)范圍之內(nèi)，理應(yīng)受到本實(shí)用新型的保護(hù)。