[實用新型]一種光伏硅片石英擴散爐系統

有效

• 申請號: 201720902882.X
• 申請日: 2017-07-24
• 公開（公告）號: CN207134329U
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發明（設計）人: 周文華
• 申請（專利權）人: 上海強華實業有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18;C30B31/06
• 代理公司: 北京力量專利代理事務所(特殊普通合伙)11504
• 代理人: 宋林清

技術領域

本實用新型屬于半導體制造工藝領域，特別涉及一種光伏硅片石英擴散爐系統。

背景技術

申請號為CN201521039652.2的專利文件，提到“在晶體硅太陽能電池制造過程中，硅片擴散工藝是將硅片放入高溫擴散爐中，通以氮氣、氧氣和三氯氧磷等氣體，在高溫下發生化學反應并擴散后在硅片表面形成PN結。具體地說，先將硅片插在石英舟上，然后將石英舟放入高溫擴散爐(一般就是擴散石英管)中，通入含有擴散源的氣體，在高溫條件下擴散源與硅片發生反應，實現擴散過程從而形成PN結?！?/p>

該文件公開了“一種太陽能硅片擴散裝置，包括石英舟、設于石英舟與進氣口之間的氣流匯集裝置，石英舟由兩個支撐板和設于支撐板之間的多個石英棒構成支撐結構，且石英棒上開有多個用于放置硅片的刻槽，其特征在于：石英棒采用中空式結構，支撐板上開有多個與各個石英棒相通的通孔；石英棒上位于相鄰刻槽間還開有散氣孔，且散氣孔與石英棒貫通；氣流匯集裝置為一具有匯流孔的擋板式結構，匯流孔出口端朝向石英舟，且支撐板上通孔的投影均位于匯流孔的出口端內”。

上述技術方案的目的是“一是通過帶匯流孔的氣流匯集裝置匯集氣流，使氣流快速流入石英舟上的石英棒內并從散氣孔處吹向硅片，有效提高了擴散源的利用率，也可以進一步增加傳輸距離，從而提高單爐擴散的產量，降低生產成本；二是通過中空石英棒和開設在石英棒上的散氣孔，將擴散源充分且均勻地分布在硅片之間的空間區域，可以顯著提高硅片擴散均勻性，從而提高了太陽能電池轉換效率，同時也大大提高了擴散源的利用，節約了生產成本；三是可以通過散氣孔在石英棒上的開孔位置分布，來控制氣流的方向，使擴散源氣流更加均勻分布在硅片所在的范圍內，根據生產需求靈活設置，實用性強”。然而，實踐中，這種石英擴散爐工作時，除了考慮氣流的匯流問題，還要考慮其他因素，例如石英擴散爐的后續工藝環節的連接問題。

實用新型內容

本實用新型提供了一種光伏硅片石英擴散爐系統，以解決石英擴散爐的后續工藝環節的連接問題。

一種光伏硅片石英擴散爐系統，該石英擴散爐包括噴淋管、石英舟、擋板、保溫桶、石英爐門、排廢管和TC管，

石英舟用于承載光伏硅片，

石英爐門安裝在石英擴散爐的頭部，對于石英擴散爐起到密封作用，

保溫桶位于石英擴散爐內靠近石英爐門一側，起到隔熱作用，

噴淋管位于石英擴散爐內上部，用于通入噴淋保護氣體三氯氧磷，

擋板用掛鉤的方式設置在噴淋管和保溫桶之間，用于阻擋石英擴散爐內部氣流，

石英擴散爐的進氣口設置在石英擴散爐的尾部，用于通入氧氣，

排廢管和TC管安裝在石英擴散爐內的底部，排廢管用于排出廢液，TC管用于放置熱電偶，

排廢管連接過渡接液瓶的進口，過渡接液瓶的出口連接接液瓶。過渡接液瓶的接頭是套管結構，過渡接液瓶的截面為圓形。

TC管即測溫管，TC是英文thermocouple的縮寫。

本實用新型針對現有的光伏硅片石英擴散爐后續工藝環節的連接問題，現有技術無法保證過渡接液瓶的各對球頭球碗完全匹配及通配，容錯率低且加工成本較高。本實用新型改為套管結構接頭，加工難度低且大大降低了加工成本，且能保證密封度的要求。

附圖說明

通過參考附圖閱讀下文的詳細描述，本實用新型示例性實施方式的上述以及其他目的、特征和優點將變得易于理解。在附圖中，以示例性而非限制性的方式示出了本實用新型的若干實施方式，其中：

圖1是本實用新型石英擴散爐結構側視示意圖。

圖2是本實用新型中過渡接液瓶的主視圖。

圖3是本實用新型中過渡接液瓶的側視圖。

1——噴淋管，2——石英舟，3——擋板，4——保溫桶，5——石英爐門，6——進氣口，7——排廢管，8——TC管，9——過渡接液瓶，10——接液瓶。

具體實施方式

如圖1所示，一種光伏硅片石英擴散爐系統，該石英擴散爐包括噴淋管、石英舟、擋板、保溫桶、石英爐門、排廢管和TC管。

石英舟用于承載光伏硅片。石英爐門安裝在石英擴散爐的頭部，對于石英擴散爐起到密封作用。保溫桶位于石英擴散爐內靠近石英爐門一側，起到隔熱作用。噴淋管位于石英擴散爐內上部，用于通入噴淋保護氣體三氯氧磷。擋板用掛鉤的方式設置在噴淋管和保溫桶之間，用于阻擋石英擴散爐內部氣流。石英擴散爐的進氣口設置在石英擴散爐的尾部，用于通入氧氣。排廢管和TC管安裝在石英擴散爐內的底部，排廢管用于排出廢液，TC管用于放置熱電偶。