[實(shí)用新型]一種光伏硅片石英擴(kuò)散爐系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720902882.X | 申請(qǐng)日： | 2017-07-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN207134329U | 公開（公告）日： | 2018-03-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周文華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海強(qiáng)華實(shí)業(yè)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/67 | 分類號(hào)： | H01L21/67;H01L31/18;C30B31/06 |
| 代理公司： | 北京力量專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙)11504 | 代理人： | 宋林清 |
| 地址： | 201507 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 硅片 石英 擴(kuò)散 系統(tǒng) | ||
1.一種光伏硅片石英擴(kuò)散爐系統(tǒng)，其特征在于，該石英擴(kuò)散爐包括噴淋管、石英舟、擋板、保溫桶、石英爐門、排廢管和TC管，
石英舟用于承載光伏硅片，
石英爐門安裝在石英擴(kuò)散爐的頭部，對(duì)于石英擴(kuò)散爐起到密封作用，
保溫桶位于石英擴(kuò)散爐內(nèi)靠近石英爐門一側(cè)，起到隔熱作用，
噴淋管位于石英擴(kuò)散爐內(nèi)上部，用于通入噴淋保護(hù)氣體三氯氧磷，
擋板用掛鉤的方式設(shè)置在噴淋管和保溫桶之間，用于阻擋石英擴(kuò)散爐內(nèi)部氣流，
石英擴(kuò)散爐的進(jìn)氣口設(shè)置在石英擴(kuò)散爐的尾部，用于通入氧氣，
排廢管和TC管安裝在石英擴(kuò)散爐內(nèi)的底部，排廢管用于排出廢液，TC管用于放置熱電偶，
排廢管連接過渡接液瓶的進(jìn)口，過渡接液瓶的出口連接接液瓶。
2.如權(quán)利要求1所述光伏硅片石英擴(kuò)散爐系統(tǒng)，其特征在于，過渡接液瓶的接頭是套管結(jié)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求2所述光伏硅片石英擴(kuò)散爐系統(tǒng)，其特征在于，過渡接液瓶的截面為圓形。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
