[實(shí)用新型]一種自由位置風(fēng)速計(jì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720900808.4
• 申請(qǐng)日: 2017-07-24
• 公開（公告）號(hào): CN207067168U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭衛(wèi)平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號(hào): G01P5/00
• 分類號(hào): G01P5/00
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所31272
• 代理人: 俞滌炯

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種適用于檢測(cè)涂膠機(jī)臺(tái)的涂膠腔室腔里的氣流狀態(tài)的自由位置風(fēng)速計(jì)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件制造過程中，光刻工藝是將掩膜版上的圖案轉(zhuǎn)移至晶圓表面的過程。光刻工藝包括的步驟有涂敷光刻膠、曝光以及顯影。為了將光刻膠涂敷至晶圓的表面，需要使用涂膠機(jī)。傳統(tǒng)的涂膠機(jī)具有一個(gè)涂膠腔室。一個(gè)晶圓卡盤設(shè)置在涂膠腔室內(nèi)以固持晶圓。晶圓卡盤與一驅(qū)動(dòng)裝置相連，該驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)晶圓卡盤旋轉(zhuǎn)。為了在晶圓的表面形成一層光刻膠涂層，驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)晶圓卡盤旋轉(zhuǎn)。一個(gè)噴頭移動(dòng)到晶圓的上方并對(duì)準(zhǔn)晶圓的中心，該噴頭朝著晶圓的中心噴射光刻膠，光刻膠由晶圓的中心向外擴(kuò)散至晶圓的邊緣直到晶圓的整個(gè)表面被光刻膠涂層所覆蓋。晶圓涂膠后旋轉(zhuǎn)時(shí)甩出的光刻膠等雜質(zhì)，掉落到晶圓上表面會(huì)造成晶圓質(zhì)量問題，所以需要抽排氣形成從上而下的氣體流動(dòng)，并保證涂膠腔室的微正壓，防止外部顆粒進(jìn)入腔體造成晶圓質(zhì)量問題，因此要在涂膠腔室內(nèi)設(shè)置有排氣孔，實(shí)現(xiàn)涂膠腔室內(nèi)的氣體流動(dòng)。為保證涂膠腔室內(nèi)的氣壓穩(wěn)定，涂膠腔室上還設(shè)置有供氣裝置。而在涂膠機(jī)在工作一段時(shí)間后，排氣管道的管徑會(huì)因光刻膠的阻塞而變小，影響涂膠腔室內(nèi)的氣流。

晶圓表面各處的氣流的變化對(duì)最后形成光刻膠涂層的厚度影響很大，而且風(fēng)速變化也會(huì)造成很多產(chǎn)品上的質(zhì)量問題，因此需要定期對(duì)涂膠腔室內(nèi)氣流狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)。現(xiàn)有的，涂膠腔室內(nèi)向下進(jìn)氣風(fēng)速的測(cè)量一般采用手持式勻速移動(dòng)傳感器讀取數(shù)值，工作人員在測(cè)量時(shí)手產(chǎn)生的抖動(dòng)和移動(dòng)速度變化都會(huì)影響結(jié)果和判斷；排氣風(fēng)速測(cè)量一般使用單一固定的風(fēng)速傳感，只能測(cè)量中心固定點(diǎn)風(fēng)速，無法精確到每個(gè)點(diǎn)，尤其當(dāng)三個(gè)排氣管路的平衡被破壞時(shí)，沒辦法及時(shí)體現(xiàn)出來，以便工作人員分析處理。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，現(xiàn)提供一種能夠快速準(zhǔn)確的測(cè)量涂膠機(jī)的涂膠腔室內(nèi)每一點(diǎn)的風(fēng)速的自由位置風(fēng)速計(jì)。本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種自由位置風(fēng)速計(jì)，適用于檢測(cè)涂膠機(jī)臺(tái)的涂膠腔室里的氣流狀態(tài)，所述自由位置風(fēng)速計(jì)包括：

第一導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌的兩端分別設(shè)置有第一固定裝置和第二固定裝置，所述第一固定裝置和所述第二固定裝置用以可拆卸地將所述第一導(dǎo)軌固定在所述涂膠腔室的內(nèi)壁上；

第二導(dǎo)軌，垂直且可滑動(dòng)地設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上；

固定支架，可滑動(dòng)地設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌上；

風(fēng)速傳感器，水平設(shè)置于所述固定支架上。

較佳的，上述自由位置風(fēng)速計(jì)中，所述第二固定裝置通過一伸縮結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上。

較佳的，上述自由位置風(fēng)速計(jì)中，所述伸縮結(jié)構(gòu)包括：

設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌內(nèi)的第一滑槽；

連接所述第二固定裝置并與所述第一滑槽適配的連接桿；

所述連接桿可滑動(dòng)的連接于所述第一滑槽內(nèi)。

較佳的，上述自由位置風(fēng)速計(jì)中，所述第一固定裝置和所述第二固定裝置為磁鐵吸盤。

較佳的，上述自由位置風(fēng)速計(jì)中，還包括一第一刻度尺，所述第一刻度尺設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上。

較佳的，上述自由位置風(fēng)速計(jì)中，還包括一第二刻度尺，所述第二刻度尺設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌上。

較佳的，上述自由位置風(fēng)速計(jì)中，還包括一第一水平儀，設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上；

所述第一水平儀設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌未連接所述第二導(dǎo)軌的一個(gè)側(cè)面上。

較佳的，上述自由位置風(fēng)速計(jì)中，還包括一第二水平儀，設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌上；

所述第二水平儀設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌未連接所述固定支架的一個(gè)側(cè)面上。

較佳的，上述自由位置風(fēng)速計(jì)中，所述第二導(dǎo)軌通過一連接件設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上；

于所述第一導(dǎo)軌連接所述第二導(dǎo)軌的側(cè)面上設(shè)置一第二滑槽；

所述連接件垂直設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌的中部；

所述連接件未連接所述第二導(dǎo)軌的一端垂直于所述第一導(dǎo)軌滑動(dòng)地設(shè)置于所述第二滑槽內(nèi)。

較佳的，上述自由位置風(fēng)速計(jì)中，于所述第二導(dǎo)軌背向所述第一導(dǎo)軌的側(cè)面上設(shè)置一第三滑槽；

所述固定支架可滑動(dòng)地設(shè)置于所述第三滑槽內(nèi)。

上述技術(shù)方案的有益效果是：能夠快速準(zhǔn)確的測(cè)量涂膠腔室內(nèi)每一點(diǎn)的風(fēng)速，方便工作人員及時(shí)調(diào)整涂膠腔室內(nèi)氣流狀態(tài)，以保證涂膠機(jī)對(duì)晶圓進(jìn)行涂膠時(shí)，晶圓表面具有均勻且厚度適宜的光刻膠涂層。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的較佳的實(shí)施例中，一種自由位置風(fēng)速計(jì)的主視圖；

圖2是本實(shí)用新型的較佳的實(shí)施例中，一種自由位置風(fēng)速計(jì)的左視圖。

具體實(shí)施方式