[實(shí)用新型]一種自由位置風(fēng)速計(jì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720900808.4
• 申請(qǐng)日: 2017-07-24
• 公開（公告）號(hào): CN207067168U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭衛(wèi)平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號(hào): G01P5/00
• 分類號(hào): G01P5/00
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種自由位置風(fēng)速計(jì)，適用于檢測(cè)涂膠機(jī)臺(tái)的涂膠腔室里的氣流狀態(tài)，其特征在于，所述自由位置風(fēng)速計(jì)包括：

第一導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌的兩端分別設(shè)置有第一固定裝置和第二固定裝置，所述第一固定裝置和所述第二固定裝置用以可拆卸地將所述第一導(dǎo)軌固定在所述涂膠腔室的內(nèi)壁上；

第二導(dǎo)軌，垂直且可滑動(dòng)地設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上；

固定支架，可滑動(dòng)地設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌上；

風(fēng)速傳感器，水平設(shè)置于所述固定支架上。

2.如權(quán)利要求1所述的自由位置風(fēng)速計(jì)，其特征在于，所述第二固定裝置通過一伸縮結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上。

3.如權(quán)利要求2所述的自由位置風(fēng)速計(jì)，其特征在于，所述伸縮結(jié)構(gòu)包括：

設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌內(nèi)的第一滑槽；

連接所述第二固定裝置并與所述第一滑槽適配的連接桿；

所述連接桿可滑動(dòng)的連接于所述第一滑槽內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1所述的自由位置風(fēng)速計(jì)，其特征在于，所述第一固定裝置和所述第二固定裝置為磁鐵吸盤。

5.如權(quán)利要求1所述的自由位置風(fēng)速計(jì)，其特征在于，還包括一第一刻度尺，所述第一刻度尺設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上。

6.如權(quán)利要求1所述的自由位置風(fēng)速計(jì)，其特征在于，還包括一第二刻度尺，所述第二刻度尺設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌上。

7.如權(quán)利要求1所述的自由位置風(fēng)速計(jì)，其特征在于，還包括一第一水平儀，設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上；

所述第一水平儀設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌未連接所述第二導(dǎo)軌的一個(gè)側(cè)面上。

8.如權(quán)利要求1所述的自由位置風(fēng)速計(jì)，其特征在于，還包括一第二水平儀，設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌上；

所述第二水平儀設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌未連接所述固定支架的一個(gè)側(cè)面上。

9.如權(quán)利要求1所述的自由位置風(fēng)速計(jì)，其特征在于，所述第二導(dǎo)軌通過一連接件設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌上；

于所述第一導(dǎo)軌連接所述第二導(dǎo)軌的側(cè)面上設(shè)置一第二滑槽；

所述連接件垂直設(shè)置于所述第二導(dǎo)軌的中部；

所述連接件未連接所述第二導(dǎo)軌的一端垂直于所述第一導(dǎo)軌滑動(dòng)地設(shè)置于所述第二滑槽內(nèi)。

10.如權(quán)利要求1所述的自由位置風(fēng)速計(jì)，其特征在于，于所述第二導(dǎo)軌背向所述第一導(dǎo)軌的側(cè)面上設(shè)置一第三滑槽；

所述固定支架可滑動(dòng)地設(shè)置于所述第三滑槽內(nèi)。