[實用新型]一種橫置式石英舟有效
| 申請號: | 201720900663.8 | 申請日: | 2017-07-24 |
| 公開(公告)號: | CN207183234U | 公開(公告)日: | 2018-04-03 |
| 發明(設計)人: | 宋賢 | 申請(專利權)人: | 蘇州市富同石英科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 橫置式 石英 | ||
技術領域
本實用新型涉及石英舟技術領域,特別涉及一種橫置式石英舟。
背景技術
石英舟作為光伏行業生產硅片的常用部件,其通常為石英材質,現有的石英舟通常采用縱向放置硅片的方式,為了滿足部分低壓擴散設備的使用也有部分石英舟采用橫向放置硅片的方式,現有橫向放置硅片的石英舟,硅片兩側擴散寬度參差不齊,硅片在搬運過程中易滑出,石英舟的承載力差。
實用新型內容
針對現有技術的不足,本實用新型的目的是提供一種橫置式石英舟。
本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種橫置式石英舟,包括底板、豎直設置于所述底板頂面四個角的立柱,所述底板左側兩個立柱中部之間連接有左中梁,所述底板左側兩個立柱頂部之間連接有左頂梁,所述底板左側的立柱右側設有開口向右的左卡槽,所述左中梁設有向左延伸的左限位板,所述底板右側兩個立柱中部之間連接有右中梁,所述底板右側兩個立柱頂部之間連接有右頂梁,所述底板右側的立柱左側設有開口向左的右卡槽,所述右中梁設有向右延伸的右限位板,所述底板前側中部設有缺口,所述左頂梁和所述右頂梁之間連接有提手,所述左卡槽與與其相對的右卡槽連線與水平面的夾角為3°,即硅片插入后與水平面呈3°夾角,所述左卡槽內和所述右卡槽內均磨砂處理。
上述設計中通過呈3°夾角的左卡槽和右卡槽,在插入硅片后使得硅片向一邊偏移進而使得硅片邊緣擴散整齊,同時左卡槽內和所述右卡槽內均磨砂處理增加硅片與一側卡槽的摩擦力,防止硅片滑出,所述缺口便于拿放底層的硅片。
作為本設計的進一步改進,所述左卡槽和所述右卡槽縱截面為直角梯形,所述左卡槽和右卡槽頂面為斜腰,便于硅片的插入且防止硅片放置后晃動撞傷。
作為本設計的進一步改進,所述左限位板和所述右限位板為中間向上拱起的弧形片,承載力大。
作為本設計的進一步改進,所述左限位板和所述右限位板末端均為水平面,提高石英舟放置后穩定性。
作為本設計的進一步改進,所述提手為向上拱起的帶狀,便于抓取石英舟。
本實用新型的有益效果是:本實用新型通過呈3°夾角的左卡槽和右卡槽,在插入硅片后使得硅片向一邊偏移進而使得硅片邊緣擴散整齊,同時左卡槽內和所述右卡槽內均磨砂處理增加硅片與一側卡槽的摩擦力,防止硅片滑出,所述缺口便于拿放底層的硅片。
附圖說明
下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1是本實用新型的立體結構示意圖。
圖2是本實用新型的正面示意圖。
圖3是本實用新型的俯視示意圖。
圖4是本實用新型的右卡槽結構示意圖。
在圖中1.底板,2.提手,3.立柱,4.缺口,5.左中梁,6.左限位板,7.右卡槽,8.左卡槽,9.右中梁,10.左頂梁,11.右頂梁,12.右限位板。
具體實施方式
下面將結合附圖以及具體實施例來詳細說明本實用新型,其中的示意性實施例以及說明僅用來解釋本實用新型,但并不作為對本實用新型的限定。
實施例:一種橫置式石英舟,包括底板1、豎直設置于所述底板1頂面四個角的立柱3,所述底板1左側兩個立柱3中部之間連接有左中梁5,所述底板1左側兩個立柱3頂部之間連接有左頂梁10,所述底板1左側的立柱3右側設有開口向右的左卡槽8,所述左中梁5設有向左延伸的左限位板6,所述底板1右側兩個立柱3中部之間連接有右中梁9,所述底板1右側兩個立柱3頂部之間連接有右頂梁11,所述底板1右側的立柱3左側設有開口向左的右卡槽7,所述右中梁9設有向右延伸的右限位板12,所述底板1前側中部設有缺口4,所述左頂梁10和所述右頂梁11之間連接有提手2,所述左卡槽8與與其相對的右卡槽7連線與水平面的夾角為3°,即硅片插入后與水平面呈3°夾角,所述左卡槽8內和所述右卡槽7內均磨砂處理。
上述設計中通過呈3°夾角的左卡槽8和右卡槽7,在插入硅片后使得硅片向一邊偏移進而使得硅片邊緣擴散整齊,同時左卡槽8內和所述右卡槽7內均磨砂處理增加硅片與一側卡槽的摩擦力,防止硅片滑出,所述缺口4便于拿放底層的硅片。
作為本設計的進一步改進,所述左卡槽8和所述右卡槽7縱截面為直角梯形,所述左卡槽8和右卡槽7頂面為斜腰,便于硅片的插入且防止硅片放置后晃動撞傷。
作為本設計的進一步改進,所述左限位板6和所述右限位板12為中間向上拱起的弧形片,承載力大。
作為本設計的進一步改進,所述左限位板6和所述右限位板12末端均為水平面,提高石英舟放置后穩定性。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





