[實用新型]一種橫置式石英舟

有效

• 申請號: 201720900663.8
• 申請日: 2017-07-24
• 公開（公告）號: CN207183234U
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 宋賢
• 申請（專利權）人: 蘇州市富同石英科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種橫置式石英舟，其特征在于，包括底板、豎直設置于所述底板頂面四個角的立柱，所述底板左側兩個立柱中部之間連接有左中梁，所述底板左側兩個立柱頂部之間連接有左頂梁，所述底板右側兩個立柱中部之間連接有右中梁，所述底板右側兩個立柱頂部之間連接有右頂梁，所述底板左側的立柱右側設有開口向右的左卡槽，所述左中梁設有向左延伸的左限位板，所述底板右側的立柱左側設有開口向左的右卡槽，所述右中梁設有向右延伸的右限位板，所述底板前側中部設有缺口，所述左頂梁和所述右頂梁之間連接有提手，所述左卡槽與與其相對的右卡槽連線與水平面的夾角為3°，即硅片插入后與水平面呈3°夾角，所述左卡槽內和所述右卡槽內均磨砂處理。

2.根據權利要求1所述的一種橫置式石英舟，其特征是，所述左卡槽和所述右卡槽縱截面為直角梯形，所述左卡槽和右卡槽頂面為斜腰。

3.根據權利要求1所述的一種橫置式石英舟，其特征是，所述左限位板和所述右限位板為中間向上拱起的弧形片。

4.根據權利要求3所述的一種橫置式石英舟，其特征是，所述左限位板和所述右限位板末端均為水平面。

5.根據權利要求1所述的一種橫置式石英舟，其特征是，所述提手為向上拱起的帶狀。