[實(shí)用新型]一種運(yùn)用在晶元真空吸盤中的晶元頂銷裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720892448.8
• 申請(qǐng)日: 2017-07-21
• 公開（公告）號(hào): CN207265030U
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江永明;莊詩(shī)偉;唐守杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 雅科貝思精密機(jī)電（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11411
• 代理人: 黃冠華

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種頂銷裝置，尤其涉及一種運(yùn)用在晶元真空吸盤中的晶元頂銷裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的晶元真空吸盤下面一般有三個(gè)晶元頂銷，三根晶元頂銷是通過一個(gè)圓柱體的氣缸的推舉和下沉而動(dòng)作的，因?yàn)橐瑫r(shí)觸碰三根頂銷，氣缸體積要稍大，占據(jù)了很大的空間。另外也有用三個(gè)小氣缸來(lái)使三根頂銷動(dòng)作的，雖然空間上節(jié)省了，但是很難滿足三根頂銷動(dòng)作的同時(shí)性，這樣就會(huì)導(dǎo)致晶元很難平穩(wěn)的放置在晶元真空吸盤上。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供一種運(yùn)用在晶元真空吸盤中的晶元頂銷裝置，占據(jù)空間小，頂銷動(dòng)作的同時(shí)性好。

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了如下的技術(shù)方案：

一種運(yùn)用在晶元真空吸盤中的晶元頂銷裝置，設(shè)置在晶元真空吸盤的下方，包括托盤，所述托盤上端面設(shè)置有氣缸、弧形槽和若干頂銷套，所述氣缸連接有傳動(dòng)套，所述傳動(dòng)套位于所述弧形槽的上方，所述頂銷套底部設(shè)置有晶元頂銷軸承，所述晶元頂銷軸承通過彈簧連接晶元頂銷的下端，所述晶元頂銷的上端由所述晶元真空吸盤上預(yù)設(shè)的通孔穿出，所述托盤下端面通過轉(zhuǎn)盤軸承連接有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤的上端面設(shè)置有傳動(dòng)柱，所述傳動(dòng)柱穿過所述弧形槽且與所述傳動(dòng)套連接，所述轉(zhuǎn)盤下端面邊緣設(shè)置有鋼絲繩槽，所述鋼絲繩槽內(nèi)設(shè)置有鋼絲繩，所述鋼絲繩的一端與所述轉(zhuǎn)盤固定連接，所述鋼絲繩的另一端連接所述彈簧上端。

進(jìn)一步地，所述托盤的下端面在所述轉(zhuǎn)盤的外圍設(shè)置有鋼絲繩擋塊。

本實(shí)用新型一種運(yùn)用在晶元真空吸盤中的晶元頂銷裝置，改良了頂銷的驅(qū)動(dòng)方法，節(jié)約了占據(jù)空間，保證了頂銷動(dòng)作的同時(shí)性。

附圖說(shuō)明

附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書的一部分，與本實(shí)用新型的實(shí)施例一起用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在附圖中：

圖1是本實(shí)用新型的俯視示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的仰視示意圖；

圖3是本實(shí)用新型連接晶元真空吸盤的整體示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的優(yōu)選實(shí)施例僅用于說(shuō)明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

如圖1、2、3所示，一種運(yùn)用在晶元真空吸盤中的晶元頂銷裝置，設(shè)置在晶元真空吸盤1的下方，包括托盤2，托盤2上端面設(shè)置有氣缸3、弧形槽4和三個(gè)頂銷套5，氣缸3連接有傳動(dòng)套6，傳動(dòng)套6位于弧形槽4的上方，頂銷套5底部設(shè)置有晶元頂銷軸承7，晶元頂銷軸承7通過彈簧連接晶元頂銷8的下端，晶元頂銷8的上端由晶元真空吸盤1上預(yù)設(shè)的通孔穿出，托盤2下端面通過轉(zhuǎn)盤軸承連接有轉(zhuǎn)盤9，轉(zhuǎn)盤9的上端面設(shè)置有傳動(dòng)柱10，傳動(dòng)柱10穿過弧形槽4且與傳動(dòng)套6連接，轉(zhuǎn)盤9下端面邊緣設(shè)置有鋼絲繩槽11，鋼絲繩槽11內(nèi)設(shè)置有鋼絲繩，鋼絲繩的一端與轉(zhuǎn)盤9固定連接，鋼絲繩的另一端連接彈簧上端。

托盤2的下端面在轉(zhuǎn)盤9的外圍設(shè)置有鋼絲繩擋塊12，防止鋼絲繩脫出鋼絲繩槽。

工作原理：

氣缸通氣動(dòng)作，通過傳動(dòng)套拉動(dòng)轉(zhuǎn)盤上的傳動(dòng)柱沿弧形槽滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)盤的轉(zhuǎn)動(dòng)；轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，拉動(dòng)鋼絲繩槽中的三條鋼絲繩，觸發(fā)彈簧動(dòng)作；最后通過彈簧的動(dòng)作實(shí)現(xiàn)晶元頂銷的動(dòng)作。氣缸縮回，鋼絲繩縮回，彈簧也縮回，這樣就可以實(shí)現(xiàn)將晶元平穩(wěn)的放置在晶元真空吸盤上。

本實(shí)用新型一種運(yùn)用在晶元真空吸盤中的晶元頂銷裝置，改良了頂銷的驅(qū)動(dòng)方法，節(jié)約了占據(jù)空間，保證了頂銷動(dòng)作的同時(shí)性。

最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。