[實(shí)用新型]一種運(yùn)用在晶元真空吸盤(pán)中的晶元頂銷(xiāo)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720892448.8
• 申請(qǐng)日: 2017-07-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207265030U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江永明;莊詩(shī)偉;唐守杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 雅科貝思精密機(jī)電（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11411
• 代理人: 黃冠華

1.一種運(yùn)用在晶元真空吸盤(pán)中的晶元頂銷(xiāo)裝置，設(shè)置在晶元真空吸盤(pán)的下方，其特征在于：包括托盤(pán)，所述托盤(pán)上端面設(shè)置有氣缸、弧形槽和若干頂銷(xiāo)套，所述氣缸連接有傳動(dòng)套，所述傳動(dòng)套位于所述弧形槽的上方，所述頂銷(xiāo)套底部設(shè)置有晶元頂銷(xiāo)軸承，所述晶元頂銷(xiāo)軸承通過(guò)彈簧連接晶元頂銷(xiāo)的下端，所述晶元頂銷(xiāo)的上端由所述晶元真空吸盤(pán)上預(yù)設(shè)的通孔穿出，所述托盤(pán)下端面通過(guò)轉(zhuǎn)盤(pán)軸承連接有轉(zhuǎn)盤(pán)，所述轉(zhuǎn)盤(pán)的上端面設(shè)置有傳動(dòng)柱，所述傳動(dòng)柱穿過(guò)所述弧形槽且與所述傳動(dòng)套連接，所述轉(zhuǎn)盤(pán)下端面邊緣設(shè)置有鋼絲繩槽，所述鋼絲繩槽內(nèi)設(shè)置有鋼絲繩，所述鋼絲繩的一端與所述轉(zhuǎn)盤(pán)固定連接，所述鋼絲繩的另一端連接所述彈簧上端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種運(yùn)用在晶元真空吸盤(pán)中的晶元頂銷(xiāo)裝置，其特征在于：所述托盤(pán)的下端面在所述轉(zhuǎn)盤(pán)的外圍設(shè)置有鋼絲繩擋塊。