[實用新型]硅片清洗系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720890081.6
• 申請日: 2017-07-20
• 公開（公告）號: CN207170343U
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉成中
• 申請（專利權(quán)）人: 阜寧協(xié)鑫光伏科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/14;B08B13/00
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司44224
• 代理人: 唐清凱

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及硅片清洗領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片清洗系統(tǒng)。

背景技術(shù)

硅片清洗過程中，清洗機的慢提拉槽(通常為第9槽)通過在線加熱水裝置，在硅片被提出后開始噴水保溫，也起到清潔水面的作用，但由于前道藥劑槽產(chǎn)生泡沫較多，硅片清洗效果仍不理想，通過分選機檢測時仍會有對斑點的誤判。

實用新型內(nèi)容

基于此，有必要針對藥劑槽產(chǎn)生泡沫較多，硅片清洗效果不理想的問題，提供一種硅片清洗系統(tǒng)。

一種硅片清洗系統(tǒng)，包括慢提拉槽和設(shè)置在慢提拉槽之前的清水槽，所述慢提拉槽配備有在線加水裝置，所述清水槽還配備有在線噴淋裝置，所述在線噴淋裝置包括：儲水池、水泵、噴淋組件、設(shè)置在所述清水槽內(nèi)的感測器，其中所述儲水池與慢提拉槽通過溢流管道連通，儲水池與水泵連通，噴淋組件與水泵連通，所述感測器與交流接觸器電連接，所述交流接觸器與水泵的電控器電連接，所述感測器檢測到所述清水槽內(nèi)有硅片后使所述交流接觸器的磁芯和觸點吸合以使水泵啟動。

上述硅片清洗系統(tǒng)，在線噴淋裝置的水泵啟動后噴淋組件向清水槽內(nèi)的水面及硅片噴射，在清水槽處對硅片進行充分的清洗，從而有效降低產(chǎn)生污片的風(fēng)險，保證硅片清洗效果，提高硅片品質(zhì)；同時在線噴淋裝置所使用的水來自于對慢提拉槽的溫水的二次回收利用，從而起到節(jié)約資源的目的。

在其中一個實施例中，所述儲水池內(nèi)設(shè)有液位傳感器，所述液位傳感器與交流接觸器及水泵的電控器電連接，所述液位傳感器檢測到儲水池內(nèi)低于預(yù)定水位時斷開對所述水泵的供電。

在其中一個實施例中，所述儲水池還配置有排污管道。

在其中一個實施例中，所述噴淋組件包括多個噴淋管，所述噴淋管的出水口位于清水槽的上方且高于水面。

在其中一個實施例中，所述噴淋管的出水口處設(shè)置有過濾結(jié)構(gòu)。

在其中一個實施例中，所述感測器為激光距離傳感器、超聲波距離傳感器或接近開關(guān)。

在其中一個實施例中，還包括機臺，所述慢提拉槽、清水槽及儲水池均設(shè)置機臺上。

在其中一個實施例中，所述機臺上還進一步設(shè)置有(1槽)純水漂洗槽-(2 槽)清洗劑槽-(3槽)清洗劑槽-(4槽)純水漂洗槽-(5槽)純水漂洗槽-(6 槽)雙氧水槽--(7槽)純水漂洗槽，所述清水槽為(8槽)，所述慢提拉槽為(9 槽)，所述(1槽)至(9槽)沿直線排列在所述機臺上。

在其中一個實施例中，所述在線加水裝置和在線噴淋裝置均設(shè)置在所述機臺上。

附圖說明

圖1為本申請一個實施例的硅片清洗系統(tǒng)的側(cè)面示意圖；

圖2為本申請一個實施例的硅片清洗系統(tǒng)的示意俯視圖；

圖3為本申請一個實施例的硅片清洗系統(tǒng)的電氣控制原理圖。

具體實施方式

為了便于理解本實用新型，下面將參照相關(guān)附圖對本實用新型進行更全面的描述。附圖中給出了本實用新型的較佳的實施例。但是，本實用新型可以以許多不同的形式來實現(xiàn)，并不限于本文所描述的實施例。相反地，提供這些實施例的目的是使對本實用新型的公開內(nèi)容的理解更加透徹全面。

需要說明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”另一個元件，它可以直接在另一個元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個元件被認為是“連接”另一個元件，它可以是直接連接到另一個元件或者可能同時存在居中元件。相反，當(dāng)元件被稱作“直接在”另一元件“上”時，則不存在中間元件。本文所使用的術(shù)語“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的。

除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本實用新型的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本實用新型的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本實用新型。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個或多個相關(guān)的所列項目的任意的和所有的組合。

下面結(jié)合附圖，詳細說明硅片清洗系統(tǒng)100的較佳實施方式。

請參考圖1，本申請一個實施例的硅片清洗系統(tǒng)100，包括沿直線依次排列設(shè)置的(1槽)11、(2槽)12、(3槽)13、(4槽)14、(5槽)15、(6槽) 16、(7槽)17、(8槽)18、(9槽)19。其中，(1槽)11至(9槽)19分別為純水漂洗槽、清洗劑槽、清洗劑槽、純水漂洗槽、純水漂洗槽、雙氧水槽、純水漂洗槽、清水槽、慢提拉槽。