[實(shí)用新型]一種真空鍍膜機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720884099.5 | 申請(qǐng)日： | 2017-07-20 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN207498464U | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-06-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王偉;張揚(yáng);常杰;林立根 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 深圳市一諾真空科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23C14/56 | 分類(lèi)號(hào)： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 真空鍍膜機(jī) 真空腔體 深冷 冷凝盤(pán)管 本實(shí)用新型 抽氣 高閥 殘余氣體 抽氣系統(tǒng) 低溫冷凝 管道連通 吸附氣體 真空環(huán)境 水汽 抽真空 捕集 潔凈 | ||
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空鍍膜機(jī)，包括真空腔體和深冷泵，所述深冷泵包括用于吸附氣體和水汽的冷凝盤(pán)管，所述冷凝盤(pán)管安裝在與所述真空腔體通過(guò)管道連通的高閥室中。本實(shí)用新型在真空鍍膜機(jī)中增加深冷泵，將深冷泵中的冷凝盤(pán)管安裝在與真空腔體相連通的高閥中，通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空腔體中的殘余氣體，從而大大縮短抽真空的時(shí)間并且能獲得潔凈的真空環(huán)境，提高了真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)的抽氣速度及抽氣質(zhì)量。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空鍍膜機(jī)。
背景技術(shù)
現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)主要由機(jī)械泵、羅茨泵、油擴(kuò)散泵/分子泵組成，實(shí)行分級(jí)抽真空。
對(duì)于使用油擴(kuò)散泵的鍍膜機(jī)在高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，其中大部分為水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，造成其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長(zhǎng)，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響，影響了產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率
因此，上述技術(shù)問(wèn)題需要解決。
實(shí)用新型內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提出一種真空鍍膜機(jī)，在真空抽氣系統(tǒng)中加入深冷泵，提高抽氣速度和產(chǎn)品質(zhì)量。
為了解決上述的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提出的基本技術(shù)方案為：
一種真空鍍膜機(jī)，包括真空腔體和深冷泵，所述深冷泵包括用于吸附氣體和水汽的冷凝盤(pán)管，所述冷凝盤(pán)管安裝在與所述真空腔體通過(guò)管道連通的高閥腔體中；所述冷凝盤(pán)管包括加熱除霜裝置。
其中，所述冷凝盤(pán)管呈層疊線圈結(jié)構(gòu)，所述冷凝盤(pán)管的線圈結(jié)構(gòu)不小于三圈。
其中，所述高閥腔體的一端與所述真空腔體通過(guò)管道相連，另一端與高閥連接。
所述真空鍍膜機(jī)還包括油擴(kuò)散泵，所述高閥腔體與所述油擴(kuò)散泵通過(guò)高閥連接。
其中，所述冷凝盤(pán)管安裝在所述高閥和所述真空腔體之間。
其中，所述冷凝盤(pán)管為銅管。
本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型提供一種真空鍍膜機(jī)，包括真空腔體和深冷泵，所述深冷泵包括用于吸附氣體和水汽的冷凝盤(pán)管，所述冷凝盤(pán)管安裝在與所述真空腔體通過(guò)管道連通的高閥腔體中。本實(shí)用新型在真空鍍膜機(jī)中增加深冷泵，將深冷泵中的冷凝盤(pán)管安裝在與真空腔體相連通的高閥腔體中，通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空腔體中的殘余氣體，從而大大縮短抽真空的時(shí)間并且能獲得潔凈的真空環(huán)境，提高了真空鍍膜機(jī)抽氣系統(tǒng)的抽氣速度及抽氣質(zhì)量。
附圖說(shuō)明
為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單的介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的內(nèi)容和這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本實(shí)用新型具體實(shí)施例提供的一種真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明：
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C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
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