[實(shí)用新型]一種真空鍍膜機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720884099.5 | 申請(qǐng)日： | 2017-07-20 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN207498464U | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-06-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王偉;張揚(yáng);常杰;林立根 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 深圳市一諾真空科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23C14/56 | 分類(lèi)號(hào)： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 真空鍍膜機(jī) 真空腔體 深冷 冷凝盤(pán)管 本實(shí)用新型 抽氣 高閥 殘余氣體 抽氣系統(tǒng) 低溫冷凝 管道連通 吸附氣體 真空環(huán)境 水汽 抽真空 捕集 潔凈 | ||
1.一種真空鍍膜機(jī)，其特征在于，包括真空腔體(1)和深冷泵(2)，所述深冷泵(2)包括用于吸附氣體和水汽的冷凝盤(pán)管(3)，所述冷凝盤(pán)管(3)安裝在與所述真空腔體(1)通過(guò)管道連通的高閥腔體(4)中；所述冷凝盤(pán)管(3)包括加熱除霜裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于，所述冷凝盤(pán)管(3)呈層疊線圈結(jié)構(gòu)，所述冷凝盤(pán)管(3)的線圈結(jié)構(gòu)不小于三圈。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于，所述高閥腔體(4)的一端與所述真空腔體(1)通過(guò)管道相連，另一端與高閥(6)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于，還包括油擴(kuò)散泵(5)，所述高閥腔體(4)與所述油擴(kuò)散泵(5)通過(guò)高閥(6)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于，所述冷凝盤(pán)管(3)安裝在所述高閥(6)和所述真空腔體(1)之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)，其特征在于，所述冷凝盤(pán)管(3)為銅管。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
