[實用新型]一種硅片批量吸取裝置

有效

• 申請號: 201720868251.0
• 申請日: 2017-07-18
• 公開（公告）號: CN207116404U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 張學強;戴軍;張建偉;賈宇鵬
• 申請（專利權）人: 羅博特科智能科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L31/18
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙)11369
• 代理人: 韓飛

1.一種硅片批量吸取裝置，其特征在于，包括：

吸取組件(1)；以及

用于將吸取組件(1)鎖緊固定的緊固組件(2)，

其中，吸取組件(1)由若干片彼此緊貼的硅片吸盤(11)層疊而成，緊固組件(2)包括分別設在吸取組件(1)左右兩端的左安裝板(21)與右安裝板(22)，以及設于左安裝板(21)與右安裝板(22)之間的連接桿(25)，吸取組件(1)穿套于連接桿(25)之上并由左安裝板(21)與右安裝板(22)鎖緊固定。

2.如權利要求1所述的硅片批量吸取裝置，其特征在于，硅片吸盤(11)包括：

與硅片相接觸的吸取部(112)；以及

與吸取部(112)一體成型的根部(111)，

其中，吸取部(112)與硅片相接觸面上開設有至少兩個吸嘴(1121)，硅片吸盤(11)的內部開設有通往根部(111)并連通外界的氣路(113)，氣路(113)與吸嘴(1121)相連通。

3.如權利要求2所述的硅片批量吸取裝置，其特征在于，根部(111)的厚度大于吸取部(112)的厚度，吸取部(112)關于根部(111)偏置設置從而當相鄰兩片硅片吸盤(11)緊貼時兩者的吸取部(112)之間形成有用于容納硅片的細縫(13)。

4.如權利要求3所述的硅片批量吸取裝置，其特征在于，細縫(13)的厚度大于硅片的厚度。

5.如權利要求4所述的硅片批量吸取裝置，其特征在于，假定細縫(13)的厚度為H，硅片的厚度為h，則有h<H≤2h。

6.如權利要求2所述的硅片批量吸取裝置，其特征在于，氣路(113)的出口設于根部(111)的端部，且氣路(113)的出口處設有沿硅片吸盤(11)的長度伸展方向凸起的氣管安裝部(1112)。

7.如權利要求6所述的硅片批量吸取裝置，其特征在于，氣管安裝部(1112)關于硅片吸盤(11)的縱向中心線(Z)偏置設置。

8.如權利要求7所述的硅片批量吸取裝置，其特征在于，相鄰兩片硅片吸盤(11)上的氣管安裝部(1112)非同側設置從而當相鄰兩片硅片吸盤(11)緊貼時兩者的氣管安裝部(1112)不接觸。

9.如權利要求1～8任一項所述的硅片批量吸取裝置，其特征在于，硅片吸盤(11)由陶瓷材料制成。