[實用新型]硅片清洗工裝

有效

• 申請號: 201720856685.9
• 申請日: 2017-07-14
• 公開（公告）號: CN206961808U
• 公開（公告）日: 2018-02-02
• 發明（設計）人: 龍永燈;陳賢剛;楊苗;郁操;張津燕;徐希翔
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司11252
• 代理人: 周放,張春雨

1.一種硅片的清洗工裝，其特征在于，包括：

一對固定板；

上部固定桿，所述上部固定桿的兩端分別與一個固定板固定連接；所述上部固定桿上設置有多個限位柱；所述限位柱包括圓柱狀的主體和半球狀的端頭；

下部固定桿，所述下部固定桿的兩端分別與一個固定板固定連接。

2.根據權利要求1所述的硅片的清洗工裝，其特征在于，所述下部固定桿上設置有多個限位槽。

3.根據權利要求2所述的硅片的清洗工裝，其特征在于，所述下部固定桿包括橫板和豎直固定在所述橫板上的一對卡板，所述卡板之間形成所述限位槽。

4.根據權利要求2所述的硅片的清洗工裝，其特征在于，所述下部固定桿包括板體和多個限位凸起，多個所述限位凸起設置在所述板體上，相鄰限位凸起之間形成所述限位槽。

5.根據權利要求4所述的硅片的清洗工裝，其特征在于，所述限位凸起為半圓柱體狀。

6.根據權利要求4所述的硅片的清洗工裝，其特征在于，所述板體上對應每個所述限位槽的位置均設置有溢流孔。

7.根據權利要求1-6任一項所述的硅片的清洗工裝，其特征在于，所述上部固定桿上設置有1-300個所述限位柱。

8.根據權利要求1-6任一項所述的硅片的清洗工裝，其特征在于，所述固定板上設置有對流孔。

9.根據權利要求1-6任一項所述的硅片的清洗工裝，其特征在于，所述固定板上設置有工具卡槽。