[實用新型]一種全自動蝕刻清洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720847266.9
• 申請日: 2017-07-13
• 公開（公告）號: CN206877973U
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬卓;吳成福
• 申請（專利權(quán)）人: 信豐迅捷興電路科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02
• 代理公司: 南昌贛專知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司36129
• 代理人: 劉錦霞,張文宣

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種清洗裝置，特別涉及一種全自動蝕刻清洗裝置。

背景技術(shù)

蝕刻清洗，目的是為了清除芯片表面的氧化物、雜質(zhì)、油脂、水分等，是完成蝕刻作業(yè)中一道重要的工序，傳統(tǒng)的蝕刻清洗往往需要人工操作和機(jī)器操作結(jié)合，會浪費一定的人力物力，并且現(xiàn)今的蝕刻清洗裝置往往設(shè)計缺乏創(chuàng)新，功能也十分簡單，為此，我們提出一種全自動蝕刻清洗裝置。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的主要目的在于提供一種全自動蝕刻清洗裝置，可以有效解決背景技術(shù)中的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取的技術(shù)方案為：

一種全自動蝕刻清洗裝置，包括機(jī)架、蓄電池和載物板，所述機(jī)架頂部安裝載物板，所述機(jī)架底部一側(cè)設(shè)有蓄電池，所述載物板上一側(cè)安裝有清洗塔一，所述載物板上另一側(cè)安裝有水泵，所述水泵和清洗塔一之間設(shè)有清洗塔二，所述清洗塔一內(nèi)頂部設(shè)有超聲波清洗腔，所述超聲波清洗腔內(nèi)設(shè)有超聲波發(fā)生器，所述清洗塔一內(nèi)底部設(shè)有壓力泵一，所述清洗塔一底部設(shè)有沖洗噴頭一，壓力泵一底部連接沖洗噴頭一，所述清洗塔二內(nèi)底部設(shè)有壓力泵二，所述清洗塔二底部設(shè)有沖洗噴頭二，壓力泵二底部連接沖洗噴頭二，所述水泵一側(cè)通過水管連接有沖洗噴頭三，所述載物板下端一側(cè)設(shè)有加熱腔，所述加熱腔內(nèi)設(shè)有紅外發(fā)生器，所述加熱腔一側(cè)設(shè)有熱風(fēng)機(jī)，所述機(jī)架內(nèi)底部設(shè)有蓄水槽，所述蓄水槽與載物板之間通過有傳送帶，所述沖洗噴頭一、沖洗噴頭二、沖洗噴頭三、加熱腔和熱風(fēng)機(jī)位于傳送帶上端。

進(jìn)一步地，所述傳送帶上等間距的設(shè)有排水孔。

進(jìn)一步地，所述機(jī)架底部設(shè)有可制動萬向輪。

進(jìn)一步地，所述水泵、紅外發(fā)生器、超聲波發(fā)生器與蓄電池電性相連。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如下有益效果：通過載物板上一側(cè)安裝有清洗塔一，可以儲存含有甲醇、丙酮的清洗液，這種清洗液可以去除雜質(zhì)和油脂，通過清洗塔一內(nèi)頂部設(shè)有超聲波清洗腔，所述超聲波清洗腔內(nèi)設(shè)有超聲波發(fā)生器，可以利用超聲波發(fā)生器發(fā)出聲波，擊碎清洗塔內(nèi)壁的污漬，用于清洗清洗塔十分高效，通過清洗塔一內(nèi)底部設(shè)有壓力泵一，清洗塔一底部設(shè)有沖洗噴頭一，壓力泵一底部連接沖洗噴頭一，壓力泵一工作使沖洗噴頭一的沖洗能力大大增強(qiáng)，提高了蝕刻清洗效率，通過載物板上設(shè)有清洗塔二，可以儲存含有氫氟酸的清洗液，這種清洗液具有清除芯片表面氧化物的作用，同理，通過清洗塔二內(nèi)底部設(shè)有壓力泵二，清洗塔二底部設(shè)有沖洗噴頭二，壓力泵二底部連接沖洗噴頭二，也增強(qiáng)了沖洗噴頭二的沖洗能力，提高了蝕刻清洗效率，通過載物板上另一側(cè)安裝有水泵，水泵一側(cè)通過水管連接有沖洗噴頭三，可以對過濾好的芯片進(jìn)行清洗，去除其表面的丙酮等清洗液，通過載物板下端一側(cè)設(shè)有加熱腔，加熱腔內(nèi)設(shè)有紅外發(fā)生器，可以利用紅外發(fā)熱均勻迅速的特點，對清洗好的芯片進(jìn)行加熱烘干，通過加熱腔一側(cè)設(shè)有熱風(fēng)機(jī)，可以吹散芯片上的水汽，加速烘干效率，通過機(jī)架內(nèi)底部設(shè)有蓄水槽，可以收集廢棄的清洗液，通過蓄水槽與載物板之間通過有傳送帶，沖洗噴頭一、沖洗噴頭二、沖洗噴頭三、加熱腔和熱風(fēng)機(jī)位于傳送帶上端，可以利用傳送帶大批量的進(jìn)行蝕刻清洗，十分高效。該種全自動蝕刻清洗裝置，通過合理設(shè)置超聲波清洗腔、加熱腔、傳送帶、清洗塔一、清洗塔二等結(jié)構(gòu)，具有了清洗方便、烘干迅速、自動化程度高等優(yōu)點，設(shè)計新穎合理，適合廣泛推廣。

附圖說明

圖1為本實用新型全自動蝕刻清洗裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為加熱腔的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、機(jī)架；2、載物板；3、壓力泵一；4、沖洗噴頭一；5、壓力泵二；6、沖洗噴頭二；7、清洗塔一；8、清洗塔二；9、超聲波清洗腔；10、超聲波發(fā)生器；11、水泵；12、熱風(fēng)機(jī)；13、加熱腔；14、蓄電池；15、可制動萬向輪；16、蓄水槽；17、傳送帶；18、紅外發(fā)生器；19、沖洗噴頭三。

具體實施方式

為使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實施方式，進(jìn)一步闡述本實用新型。