[實用新型]一種全自動蝕刻清洗裝置

有效

• 申請號: 201720847266.9
• 申請日: 2017-07-13
• 公開（公告）號: CN206877973U
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 馬卓;吳成福
• 申請（專利權）人: 信豐迅捷興電路科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02
• 代理公司: 南昌贛專知識產權代理有限公司36129
• 代理人: 劉錦霞,張文宣

1.一種全自動蝕刻清洗裝置，包括機架(1)、蓄電池(14)和載物板(2)，其特征在于，所述機架(1)頂部安裝載物板(2)，所述機架(1)底部一側設有蓄電池(14)，所述載物板(2)上一側安裝有清洗塔一(7)，所述載物板(2)上另一側安裝有水泵(11)，所述水泵(11)和清洗塔一(7)之間設有清洗塔二(8)，所述清洗塔一(7)內頂部設有超聲波清洗腔(9)，所述超聲波清洗腔(9)內設有超聲波發生器(10)，所述清洗塔一(7)內底部設有壓力泵一(3)，所述清洗塔一(7)底部設有沖洗噴頭一(4)，壓力泵一(3)底部連接沖洗噴頭一(4)，所述清洗塔二(8)內底部設有壓力泵二(5)，所述清洗塔二(8)底部設有沖洗噴頭二(6)，壓力泵二(5)底部連接沖洗噴頭二(6)，所述水泵(11)一側通過水管連接有沖洗噴頭三(19)，所述載物板(2)下端一側設有加熱腔(13)，所述加熱腔(13)內設有紅外發生器(18)，所述加熱腔(13)一側設有熱風機(12)，所述機架(1)內底部設有蓄水槽(16)，所述蓄水槽(16)與載物板(2)之間通過有傳送帶(17)，所述沖洗噴頭一(4)、沖洗噴頭二(6)、沖洗噴頭三(19)、加熱腔(13)和熱風機(12)位于傳送帶(17)上端。

2.根據權利要求1所述的一種全自動蝕刻清洗裝置，其特征在于：所述傳送帶(17)上等間距的設有排水孔。

3.根據權利要求1所述的一種全自動蝕刻清洗裝置，其特征在于：所述機架(1)底部設有可制動萬向輪(15)。

4.根據權利要求1所述的一種全自動蝕刻清洗裝置，其特征在于：所述水泵(11)、紅外發生器(18)、超聲波發生器(10)與蓄電池(14)電性相連。