[實用新型]一種用于ASM AD838 框架背面貼膜的墊塊有效
| 申請號: | 201720835254.4 | 申請日: | 2017-07-11 |
| 公開(公告)號: | CN207353202U | 公開(公告)日: | 2018-05-11 |
| 發明(設計)人: | 陸明;王金貴;邵克 | 申請(專利權)人: | 蘇州通博半導體科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 上海宣宜專利代理事務所(普通合伙) 31288 | 代理人: | 劉君 |
| 地址: | 215200 江蘇省蘇州市吳江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 asm ad838 框架 背面 墊塊 | ||
1.一種用于ASM AD838框架背面貼膜的墊塊,包括:矩形的墊塊本體,墊塊本體表面設有墊塊凸臺,其特征在于:墊塊凸臺是由豎向墊塊凸臺、橫向墊塊凸臺組成的十字架形凸臺,豎向墊塊凸臺的長度尺寸不變,寬度左右對稱減小0.15~0.6cm,橫向墊塊凸臺在X、Y軸上的尺寸分別為3~3.2cm、0.4~0.7cm,墊塊為細磨砂表面,且墊塊凸臺上表面與墊塊本體的上表面之間設有斜向下的傾斜臺。
2.如權利要求1所述用于ASM AD838框架背面貼膜的墊塊,其特征在于:傾斜臺(113)與墊塊本體(1)水平面的夾角為20~40°。
3.如權利要求1所述用于ASM AD838框架背面貼膜的墊塊,其特征在于:墊塊為點膠墊塊及裝片墊塊。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





