[實(shí)用新型]一種包覆型芯片尺寸封裝結(jié)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720832468.6 | 申請(qǐng)日: | 2017-07-10 |
| 公開(公告)號(hào): | CN206907755U | 公開(公告)日: | 2018-01-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 徐虹;張黎;陳棟;陳錦輝;賴志明 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L23/31 | 分類號(hào): | H01L23/31;H01L21/56 |
| 代理公司: | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司32200 | 代理人: | 趙華 |
| 地址: | 214429 江蘇省無錫市江*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 包覆型 芯片 尺寸 封裝 結(jié)構(gòu) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種包覆型芯片尺寸封裝結(jié)構(gòu),屬于半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
隨著無線手持設(shè)備、掌上電腦以及其他移動(dòng)電子設(shè)備的增加,消費(fèi)者對(duì)各種小外形、特征豐富產(chǎn)品的需求也與日俱增,微電子封裝技術(shù)面臨著電子產(chǎn)品“高性價(jià)比、高可靠性、多功能、小型化及低成本”發(fā)展趨勢(shì)帶來的挑戰(zhàn)和機(jī)遇。圓片級(jí)芯片尺寸封裝技術(shù)滿足了電子產(chǎn)品向更加小型、更多功能、更高可靠性對(duì)電路組件的要求。然而圓片級(jí)芯片尺寸封裝也面臨著一些問題,隨著芯片變的小而薄,而且其側(cè)壁沒有保護(hù),在SMT時(shí)芯片的取放會(huì)造成邊角應(yīng)力,甚至芯片碎裂。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足,提供一種側(cè)壁絕緣保護(hù)、不易漏電或短路、提高可靠性的包覆型芯片尺寸封裝結(jié)構(gòu)。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:
本實(shí)用新型一種包覆型芯片尺寸封裝結(jié)構(gòu),其包括硅基本體和芯片電極,所述硅基本體的正面設(shè)置鈍化層并開設(shè)鈍化層開口,所述芯片電極由背面嵌入硅基本體的正面,所述鈍化層開口露出芯片電極的正面。
所述鈍化層的上表面設(shè)置介電層Ⅰ并開設(shè)介電層Ⅰ開口,所述介電層Ⅰ開口露出芯片電極的正面,所述介電層Ⅰ不覆蓋到鈍化層的邊緣;
所述芯片電極的上表面設(shè)置凸塊底部金屬,所述凸塊底部金屬由下而上依次包括金屬種子層Ⅰ、金屬層Ⅰ,并在金屬層Ⅰ上設(shè)置焊球;
所述硅基本體的四周和背面設(shè)置包封層Ⅰ,所述包封層Ⅰ向上延展覆蓋鈍化層的裸露部分,其上表面與介電層Ⅰ的上表面齊平,所述包封層Ⅰ為一體結(jié)構(gòu)。
可選地,所述硅基本體的側(cè)壁是垂直的。
可選地, 所述硅基本體的側(cè)壁設(shè)有臺(tái)階。
可選地,所述硅基本體的背面設(shè)置硅基加強(qiáng)層。
本實(shí)用新型一種包覆型芯片尺寸封裝結(jié)構(gòu),其包括硅基本體和芯片電極,所述硅基本體的正面設(shè)置鈍化層并開設(shè)鈍化層開口,所述芯片電極由背面嵌入硅基本體的正面,所述鈍化層開口露出芯片電極的正面,所述鈍化層的上表面設(shè)置介電層Ⅰ并開設(shè)介電層Ⅰ開口,所述介電層Ⅰ開口露出芯片電極的正面,所述介電層Ⅰ不覆蓋到鈍化層的邊緣,其上依次覆蓋金屬種子層Ⅰ、金屬層Ⅰ和介電層Ⅱ,所述介電層Ⅱ開設(shè)介電層開口露出金屬層Ⅰ;
所述金屬層Ⅰ的上表面設(shè)置凸塊底部金屬Ⅱ,所述凸塊底部金屬Ⅱ由下而上依次包括金屬種子層Ⅱ、金屬層Ⅱ,并在金屬層Ⅱ上設(shè)置焊球;
所述硅基本體的四周和背面設(shè)置包封層Ⅱ,所述包封層Ⅱ向上延展覆蓋鈍化層的裸露部分,其上表面與介電層Ⅱ的上表面齊平,所述包封層Ⅱ?yàn)橐惑w結(jié)構(gòu)。
可選地,所述硅基本體的側(cè)壁是垂直的。
可選地, 所述硅基本體的側(cè)壁設(shè)有臺(tái)階。
可選地,所述硅基本體的背面設(shè)置硅基加強(qiáng)層。
本實(shí)用新型的有益效果是:
1、本實(shí)用新型包覆型芯片封裝結(jié)構(gòu)側(cè)壁和邊角設(shè)置保護(hù),加強(qiáng)了芯片拐角處的抗應(yīng)力破裂強(qiáng)度,避免了芯片切割造成的芯片碎角或者側(cè)壁開裂,同時(shí)降低了SMT時(shí)芯片取放造成芯片碎角、芯片碎裂等缺陷的發(fā)生幾率,減少了漏電流的產(chǎn)生,提高了芯片的可靠性能,改善了芯片的良率;
2、本實(shí)用新型包覆型芯片封裝結(jié)構(gòu)上表面邊緣、四周和下表明設(shè)置的包封層為一體結(jié)構(gòu),與同類產(chǎn)品如扇出型芯片尺寸封裝技術(shù)封裝的結(jié)構(gòu)相比增強(qiáng)了包封層與側(cè)壁的結(jié)合力,不容易因受力而脫落。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型一種包覆型芯片尺寸封裝結(jié)構(gòu)的正面示意圖;
圖2A、2B為本實(shí)用新型一種包覆型芯片尺寸封裝結(jié)構(gòu)的實(shí)施例一的A-A剖面示意圖;
圖3為本實(shí)用新型一種包覆型芯片尺寸封裝結(jié)構(gòu)的實(shí)施例二的A-A剖面示意圖;
圖4A、4B為本實(shí)用新型一種包覆型芯片尺寸封裝結(jié)構(gòu)的實(shí)施例三的剖面示意圖;
其中:
硅基本體111
芯片電極113
包封層Ⅰ121
包封層Ⅱ123
鈍化層210
鈍化層開口213
介電層Ⅰ310
介電層Ⅰ開口311
金屬種子層Ⅰ410
金屬層Ⅰ510
介電層Ⅱ320
介電層Ⅱ開口321
金屬種子層Ⅱ420
金屬層Ⅱ520
焊球600。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。
實(shí)施例一
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