[實用新型]一種硅片制絨后的全自動下料機構有效
| 申請號: | 201720824582.4 | 申請日: | 2017-07-10 |
| 公開(公告)號: | CN207165531U | 公開(公告)日: | 2018-03-30 |
| 發明(設計)人: | 沈少杰 | 申請(專利權)人: | 蘇州矽美仕綠色新能源有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州根號專利代理事務所(普通合伙)32276 | 代理人: | 李艷 |
| 地址: | 215400 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 硅片 制絨后 全自動 機構 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種硅片制絨后的全自動下料機構。
背景技術
晶體硅太陽能電池制作工藝包括制絨、擴散、刻蝕、沉積減反射膜、印刷電極等步驟,擴散步驟一般采用石英舟作為承載工具。在硅片制絨后需對其進行卸料,再送至擴散處理工位進行加工,再次過程中多是采用人工取放,這就造成了人力介入所帶來的人為因素對硅片污染和損壞,下料過程中硅片表面易摩擦導致絨面損傷。
如能實現可靠、高效地自動化卸料,即可有效避免這一問題。
實用新型內容
本實用新型的一個目的是要提供一種硅片制絨后的全自動下料機構,其能夠避免人為因素對硅片的污染和破壞。
特別地,本實用新型提供了一種硅片制絨后的全自動下料機構,包括下料花籃、帶動所述下料花籃動作的步進驅動裝置以及傳送裝置,所述下料花籃內具有若干個限位卡槽,所述限位卡槽對應卡接限位一個硅片。
對于上述技術方案,發明人還有進一步的優化措施。
進一步地,在硅片制絨工位后設有擴散處理工位,所述擴散處理工位采用擴散石英舟承載硅片,所述下料花籃上的所述限位卡槽與所述擴散石英舟上的卡槽相匹配地設置。
更進一步地,所述全自動下料機構中的下料花籃設置制絨工位的后方,硅片逐一加載在下料花籃的所述限位卡槽中,所述步進驅動裝置帶動所述下料花籃運動,串聯所述硅片制絨工位與擴散處理工位的所述傳送裝置設置在所述步進驅動裝置的末端,用于將滿載的所述下料花籃輸送至擴散處理工位。
與現有技術相比較,本實用新型的優點在于:
本實用新型的全自動下料機構,能夠在硅片制絨后進行自動化卸料,裝載后的花籃能夠直接與擴散石英舟進行對接,便于擴散處理工位的工作。另外,利用機器自動卸料,代替人工取放,減少手工接觸,避免了人為因素對硅片的污染和損壞,避免硅片摩擦導致絨面損傷,同時也提高了生產效率。
根據下文結合附圖對本實用新型具體實施例的詳細描述,本領域技術人員將會更加明了本實用新型的上述以及其他目的、優點和特征。
附圖說明
后文將參照附圖以示例性而非限制性的方式詳細描述本實用新型的一些具體實施例。附圖中相同的附圖標記標示了相同或類似的部件或部分。本領域技術人員應該理解,這些附圖未必是按比例繪制的。附圖中:
圖1是根據本實用新型一個實施例的硅片制絨后的全自動下料機構的結構示意圖。
其中:
1、下料花籃;2、步進驅動裝置;3、傳送裝置。
具體實施方式
圖1是根據本實用新型一個實施例的硅片制絨后的全自動下料機構的結構示意圖。
本實施例描述了一種硅片制絨后的全自動下料機構,包括下料花籃1、帶動所述下料花籃1動作的步進驅動裝置2以及傳送裝置3,所述下料花籃1內具有若干個限位卡槽,所述限位卡槽對應卡接限位一個硅片。
進一步地,在硅片制絨工位后設有擴散處理工位,所述擴散處理工位采用擴散石英舟承載硅片,所述下料花籃1上的所述限位卡槽與所述擴散石英舟上的卡槽相匹配地設置。
更進一步地,所述全自動下料機構中的下料花籃1設置制絨工位的后方,硅片逐一加載在下料花籃1的所述限位卡槽中,所述步進驅動裝置2帶動所述下料花籃1運動,串聯所述硅片制絨工位與擴散處理工位的所述傳送裝置3設置在所述步進驅動裝置2的末端,用于將滿載的所述下料花籃1輸送至擴散處理工位。
綜上,本實用新型的全自動下料機構,能夠在硅片制絨后進行自動化卸料,裝載后的花籃能夠直接與擴散石英舟進行對接,便于擴散處理工位的工作。另外,利用機器自動卸料,代替人工取放,減少手工接觸,避免了人為因素對硅片的污染和損壞,避免硅片摩擦導致絨面損傷,同時也提高了生產效率。
至此,本領域技術人員應認識到,雖然本文已詳盡示出和描述了本實用新型的多個示例性實施例,但是,在不脫離本實用新型精神和范圍的情況下,仍可根據本實用新型公開的內容直接確定或推導出符合本實用新型原理的許多其他變型或修改。因此,本實用新型的范圍應被理解和認定為覆蓋了所有這些其他變型或修改。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





