[實(shí)用新型]層疊膜檢測機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720809585.0
• 申請日: 2017-07-05
• 公開（公告）號: CN206920358U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范家強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市振宇達(dá)智能機(jī)器人科技有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司44224
• 代理人: 劉雯

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及層疊膜缺陷檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種層疊膜檢測機(jī)。

背景技術(shù)

近年來層疊膜被廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件、半導(dǎo)體器件等各個(gè)領(lǐng)域中，層疊膜的種類及其應(yīng)用范圍也在不斷擴(kuò)大，但層疊膜中可能會存在壓痕、輝點(diǎn)、氣泡等缺陷。在層疊膜成品的檢測過程中，一般將一個(gè)像素高、視野大的檢測相機(jī)安裝于層疊膜成品的正上方，檢測系統(tǒng)通過相機(jī)對層疊膜的表面進(jìn)行成像然后進(jìn)行分析；由于層疊膜中的不同缺陷對光線具有不同的反射角，且光線每穿過一層膜也會發(fā)生折射，為提高層疊膜成品檢測的準(zhǔn)確率，通常會根據(jù)層疊膜的種類在層疊膜成品上方的相應(yīng)位置手動加裝光源，并在檢測過程中通過人工調(diào)整光源的角度和位置。這種層疊膜檢測方法的缺陷是：檢測結(jié)果會因受工人的經(jīng)驗(yàn)、技術(shù)嫻熟程度、勞累程度等影響而不準(zhǔn)確，且因?qū)崟r(shí)設(shè)定光源的位置和角度而造成檢測效率低下；單一的成像角度也造成層疊膜成品的檢測準(zhǔn)確率不高。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于此，有必要針對現(xiàn)有的層疊膜檢測手段中單一的成像角度檢測準(zhǔn)確率不高、因人工參與造成的檢測結(jié)果不穩(wěn)定及效率低下的問題，提供一種多方向檢測的層疊膜檢測機(jī)。

一種層疊膜檢測機(jī)，包括：

光源，用于向待檢測的層疊膜發(fā)射檢測光線；

多個(gè)成像裝置，多個(gè)所述成像裝置的成像區(qū)域至少部分重合，所述成像區(qū)域的重合部分能夠覆蓋所述待檢測的層疊膜，以接收經(jīng)所述待檢測的層疊膜透射或反射的檢測光線，多個(gè)所述成像裝置接收檢測光線的方向各異。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述光源與所述成像裝置設(shè)置于層疊膜的同側(cè)，所述成像裝置接收經(jīng)所述待檢測的層疊膜反射的檢測光線。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述成像裝置包括中心成像裝置和周圍成像裝置，所述周圍成像裝置設(shè)置于所述中心成像裝置的周圍，所述周圍成像裝置接收檢測光線的方向向所述中心成像裝置接收檢測光線的方向傾斜。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述中心成像裝置的成像軸線垂直于所述層疊膜所在的平面，所述周圍成像裝置的成像軸線與所述中心成像裝置的成像軸線的夾角為35°至55°。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述中心成像裝置的成像軸線與所述待檢測的層疊膜所在的平面的交點(diǎn)為所述待檢測的層疊膜的外接圓的圓心。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述中心成像裝置為一個(gè)，所述周圍成像裝置為四個(gè)，所述周圍成像裝置以所述中心成像裝置為中心環(huán)形均勻分布。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，每個(gè)所述成像裝置對應(yīng)一個(gè)所述光源，每個(gè)所述光源發(fā)出的檢測光線經(jīng)所述待檢測的層疊膜所在的平面反射后進(jìn)入與所述光源對應(yīng)的所述成像裝置中。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，五個(gè)所述光源分別設(shè)置于五個(gè)所述成像裝置的下部。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述成像裝置能夠沿所述待檢測的層疊膜所在的平面的軸線移動。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述層疊膜檢測機(jī)還包括分析系統(tǒng)，所述分析系統(tǒng)與所述成像裝置連接，所述分析系統(tǒng)用于處理所述成像裝置獲取的圖像。

上述層疊膜檢測機(jī)，包括光源和多個(gè)檢測區(qū)域重合成像裝置，多個(gè)所述成像裝置對同一檢測區(qū)域的成像角度各不相同；同檢測區(qū)域、多角度的層疊膜檢測機(jī)，可以同時(shí)接收多角度的經(jīng)層疊膜透射或反射的檢測光線，不僅提高了檢測準(zhǔn)確率，而且不需要人工的實(shí)時(shí)調(diào)整，從而避免了人工調(diào)整造成的檢測結(jié)果不穩(wěn)定的問題，同時(shí)提高了檢測效率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的層疊膜檢測機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的層疊膜檢測機(jī)結(jié)構(gòu)主視示意圖；

圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的層疊膜檢測機(jī)局部放大示意圖。

其中：

100-成像裝置

110-中心成像裝置

120-周圍成像裝置

200-光源

300-安裝框

310-框體

320-中間梁

400-層疊膜

A-夾角

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下通過實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型的層疊膜檢測機(jī)進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。