[實用新型]層疊膜檢測機

有效

• 申請號: 201720809585.0
• 申請日: 2017-07-05
• 公開（公告）號: CN206920358U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 范家強
• 申請（專利權）人: 深圳市振宇達智能機器人科技有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 劉雯

1.一種層疊膜檢測機，其特征在于，包括：

光源，用于向待檢測的層疊膜發射檢測光線；

多個成像裝置，多個所述成像裝置的成像區域至少部分重合，所述成像區域的重合部分能夠覆蓋所述待檢測的層疊膜，以接收經所述待檢測的層疊膜透射或反射的檢測光線，多個所述成像裝置接收檢測光線的方向各異。

2.根據權利要求1所述的層疊膜檢測機，其特征在于，所述光源與所述成像裝置設置于所述待檢測的層疊膜的同側，所述成像裝置接收經所述待檢測的層疊膜反射的檢測光線。

3.根據權利要求2所述的層疊膜檢測機，其特征在于，所述成像裝置包括中心成像裝置和周圍成像裝置，所述周圍成像裝置設置于所述中心成像裝置的周圍，所述周圍成像裝置接收檢測光線的方向向所述中心成像裝置接收檢測光線的方向傾斜。

4.根據權利要求3所述的層疊膜檢測機，其特征在于，所述中心成像裝置的成像軸線垂直于所述層疊膜所在的平面，所述周圍成像裝置的成像軸線與所述中心成像裝置的成像軸線的夾角為35°至55°。

5.根據權利要求4所述的層疊膜檢測機，其特征在于，所述中心成像裝置的成像軸線與所述待檢測的層疊膜所在的平面的交點為所述待檢測的層疊膜的外接圓的圓心。

6.根據權利要求4所述的層疊膜檢測機，其特征在于，所述中心成像裝置為一個，所述周圍成像裝置為四個，所述周圍成像裝置以所述中心成像裝置為中心環形均勻分布。

7.根據權利要求2-6任一項所述的層疊膜檢測機，其特征在于，每個所述成像裝置對應一個所述光源，每個所述光源發出的檢測光線經所述待檢測的層疊膜所在的平面反射后進入與所述光源對應的所述成像裝置中。

8.根據權利要求7所述的層疊膜檢測機，其特征在于，五個所述光源分別設置于五個所述成像裝置的下部。

9.根據權利要求1所述的層疊膜檢測機，其特征在于，所述成像裝置能夠沿所述待檢測的層疊膜所在的平面的軸線移動。

10.根據權利要求1所述的層疊膜檢測機，其特征在于，還包括分析系統，所述分析系統與所述成像裝置連接，所述分析系統用于處理所述成像裝置獲取的圖像。