[實用新型]一種四氯化硅源恒溫蒸發瓶有效
| 申請號： | 201720770923.4 | 申請日： | 2017-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN207774816U | 公開（公告）日： | 2018-08-28 |
| 發明（設計）人： | 陸時躍;徐年惠;簡青青;從書 | 申請（專利權）人： | 中國振華集團永光電子有限公司（國營第八七三廠） |
| 主分類號： | C01B33/03 | 分類號： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 貴陽派騰陽光知識產權代理事務所(普通合伙) 52110 | 代理人： | 谷慶紅 |
| 地址： | 550018 貴州省*** | 國省代碼： | 貴州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蒸發室 進氣管 四氯化硅 氫氣 蒸發瓶 本實用新型 出氣室 儲液室 下端 蒸發 外延生長系統 室內 工藝要求 聯絡管道 連接導通 生產作業 雙層結構 外延工藝 攜帶 出氣 上端 出氣管 石英瓶 同軸心 蒸發源 伸入 流出 | ||
1.一種四氯化硅源恒溫蒸發瓶，包括儲液室(1)、蒸發室(2)、進氣管(3)、出氣室(4)，其特征在于：所述蒸發室(2)安裝在儲液室(1)的下端通過聯絡管道(6)連接導通，所述出氣室(4)設置在蒸發室(2)的上端中部，所述進氣管(3)設置在出氣室(4)內且其下端伸入蒸發室(2)內。
2.如權利要求1所述的四氯化硅源恒溫蒸發瓶，其特征在于：所述蒸發室(2)的內還設置有恒液管(7)與儲液室(1)連接導通。
3.如權利要求1所述的四氯化硅源恒溫蒸發瓶，其特征在于：所述儲液室(1)上端設置有進液口(5)。
4.如權利要求1所述的四氯化硅源恒溫蒸發瓶，其特征在于：所述進氣管(3)的下端為喇叭口。
5.如權利要求1所述的四氯化硅源恒溫蒸發瓶，其特征在于：所述出氣室(4)設置在儲液室(1)內，出氣室(4)的上端伸出儲液室(1)外且設置有出氣口(8)。
6.如權利要求1所述的四氯化硅源恒溫蒸發瓶，其特征在于：所述進氣管(3)的上端伸出出氣室(4)外與氫氣源連接。
7.如權利要求1所述的四氯化硅源恒溫蒸發瓶，其特征在于：所述聯絡管道(6)和恒液管(7)的下端距蒸發室(2)的底面距離均為蒸發室(2)高度的1/6，所述恒液管(7)的上端設置在儲液室(1)內且距儲液室(1)的頂端距離為儲液室(1)高度的1/7。
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