[實用新型]光罩

有效

• 申請號: 201720768783.7
• 申請日: 2017-06-28
• 公開（公告）號: CN207164461U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 謝生林;王毅
• 申請（專利權）人: 揚州揚杰電子科技股份有限公司
• 主分類號: G03F1/38
• 分類號: G03F1/38
• 代理公司: 揚州市蘇為知識產權代理事務所(普通合伙)32283
• 代理人: 周全

技術領域

本實用新型涉及半導體領域，具體涉及一種晶片生產中使用的光罩。

背景技術

目前在實際生產過程中，涂布晶片在上膠旋轉停止時，由于光刻膠會內縮，導致外圈晶粒上膠量積累，膠層偏厚，影響產品外觀，需要人工劃除，而人工劃除不僅浪費工時，還有可能對晶片造成損壞，影響生產效率、增加生產成本。

實用新型內容

本實用新型針對以上問題，提供了一種防止光刻膠內縮堆積、影響晶片外觀的光罩。

本實用新型的技術方案是：包括基板和設在基板上的、由光阻層構成的圖案，所述基板上、所述圖案的周圍設有一條閉環的蝕刻槽。

所述蝕刻槽的截面為U型。

所述蝕刻槽內設有圓環型的彈性擋板和彈性密封膜，所述彈性擋板通過若干與蝕刻槽的槽底平行的連接桿連接在蝕刻槽的外側壁上，所述連接桿伸出基板；

所述連接桿上設有若干凹槽，所述基板的側壁上、連接桿伸出的開口處設有卡件；

所述彈性密封膜的內邊固定在彈性擋板的上部，所述彈性密封膜的外邊固定連接在蝕刻槽的外側壁上。

所述卡件為彎鉤，所述彎鉤的鉤體內側可適配在凹槽中，所述彎鉤的非鉤體端旋轉連接在基板的側壁上。

所述卡件為對稱設置的兩個可適配在凹槽中的卡扣，所述卡扣滑動連接在基板的側壁上。

本實用新型的有益效果是：通過在光罩板外圈增加一條蝕刻槽，使光阻膠涂布晶片在旋轉停止時蝕刻槽有一定距離緩沖，最終使到晶粒臺面的光阻膠積累量變少，達到晶片臺面光阻膠減薄的目的，改善晶片了外觀，節省了人工工時，提升了產出率；在蝕刻槽中設彈性擋板和彈性密封膜，用來調節蝕刻槽的寬度，可根據布膠的厚度來調節，擴大本實用新型的使用范圍。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖，

圖2是圖1中的A-A向剖視圖，

圖3是圖2中B處的放大示意圖，

圖4是圖2第一種實施方式的左視圖，

圖5是圖2第二種實施方式的左視圖；

圖中1是基板，11是蝕刻槽，2是彈性擋板，3是彈性密封膜，4是連接桿，41是凹槽，51是彎鉤，52是卡扣。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作具體說明。

本實用新型包括基板1和設在基板1（玻璃板）上的、由光阻層構成的圖案，所述基板上1、所述圖案的周圍設有一條閉環的蝕刻槽11（一般為圓環型）。使光刻膠內縮時在蝕刻槽11中緩沖，從而不會堆積在一個地方，造成膠層偏厚，改善晶片了外觀，節省了人工工時，提升了產出率；

所述蝕刻槽11的截面為U型。

所述蝕刻槽11內設有圓環型的彈性擋板2和彈性密封膜3，所述彈性擋板2通過若干與蝕刻槽11的槽底平行的連接桿4連接在蝕刻槽11的外側壁上（本實用新型中蝕刻槽的內側、外側的定義為：靠近基板的中心為內側，遠離基板的中心為外側），所述連接桿4伸出基板1外；

所述連接桿4上設有若干凹槽41，所述基板1的側壁上、連接桿4伸出的開口處設有卡件；

所述彈性密封膜3的內邊固定在彈性擋板2的上部，所述彈性密封膜3的外邊固定連接在蝕刻槽11的外側壁上，彈性密封膜3使蝕刻槽的外側壁和彈性擋板之間密封，使起緩沖作用的是彈性擋板2和蝕刻槽11內側壁形成的槽。通過推拉連接桿4調節彈性擋板2在蝕刻槽中的位置，從而實現調節蝕刻槽11槽口寬度的目的。在實際使用過程中，可根據布膠的厚度需要來調節蝕刻槽11寬度，如果需要布膠較薄，那么調大蝕刻槽11的寬度，如果需要布膠較厚，那么調小蝕刻槽的寬度。本實用新型依附彈性擋板2和彈性密封膜3的彈性來實現調節。

本實用新型的第一種實施方式，所述卡件為彎鉤51，所述彎鉤51的鉤體內側可適配在凹槽41中，所述彎鉤51的非鉤體端旋轉連接在基板1的側壁上。如連接在設在基板上的螺栓上，或者鉸接在基板上。調節時，依次將各連接桿4調到需要的位置，并用彎鉤51固定。

本實用新型的第二種實施方式，所述卡件為對稱設置的兩個可適配在凹槽41中的卡扣52，所述卡扣52滑動連接在基板1的側壁上，如在基板1的側壁上設與基板弧度一致的T型槽，卡扣52適配在T型槽中。調節時，依次將各連接桿4調到需要的位置，并用卡扣52固定。

本實用新型通過在光罩板外圈增加一條蝕刻槽，使光阻膠涂布晶片在旋轉停止時蝕刻槽有一定距離緩沖，最終使到晶粒臺面的光阻膠積累量變少，達到晶片臺面光阻膠減薄的目的，改善晶片了外觀，節省了人工工時，提升了產出率；在蝕刻槽中設彈性擋板和彈性密封膜，用來調節蝕刻槽的寬度，可根據布膠的厚度來調節，擴大本實用新型的使用范圍。