[實用新型]一種MEMS麥克風

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720751405.8
• 申請日: 2017-06-26
• 公開（公告）號: CN207070353U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李江龍;郝紅蕾;陳有鑫
• 申請（專利權(quán)）人: 歌爾科技有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙)11442
• 代理人: 王昭智,馬佑平

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及聲電轉(zhuǎn)換領(lǐng)域，更具體地，本實用新型涉及一種MEMS麥克風。

背景技術(shù)

MEMS(微型機電系統(tǒng))麥克風是基于MEMS技術(shù)制造的麥克風，其中的振膜、背極板是MEMS麥克風中的重要部件，振膜、背極板構(gòu)成了電容器并集成在硅晶片上，實現(xiàn)聲電的轉(zhuǎn)換。

當MEMS麥克風受到機械沖擊、吹氣、跌落時，其中的MEMS芯片會受到較大的聲壓沖擊，這往往會使振膜受到過大的壓力而導致破裂受損，或者在大氣沖擊時會因氣流擾動而扭曲變形導致振膜破裂，從而導致整個麥克風的失效。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的一個目的是提供了一種MEMS麥克風。

根據(jù)本實用新型的一個方面，提供一種MEMS麥克風，包括具有背腔的襯底，在所述襯底上設(shè)置有由振膜、背極、支撐部構(gòu)成的平板電容器結(jié)構(gòu)；所述振膜上設(shè)置有由縫隙限制成的泄壓閥，所述背極上設(shè)置有朝向振膜方向延伸的凸起部，所述凸起部與振膜泄壓閥的位置相對。

可選地，所述泄壓閥設(shè)置有一個，位于振膜的中心區(qū)域。

可選地，所述泄壓閥設(shè)置有多個，均勻分布在振膜的圓周方向上。

可選地，所述泄壓閥整體呈U形、S形、矩形、梯形、圓形、半圓形或半橢圓形。

可選地，所述襯底上形成的是背極在下、振膜在上的平板電容器結(jié)構(gòu)。

可選地，所述襯底上形成的是背極在上、振膜在下的平板電容器結(jié)構(gòu)。

可選地，所述縫隙在沉積形成振膜時，通過刻蝕的方式形成。

本實用新型的麥克風在正常工作時，正常的聲壓會從縫隙中通過；在受到較大沖擊時，振膜受壓發(fā)生大變形并貼于背極上；泄壓閥在隨之發(fā)生大變形時會被凸起部所阻止，這就使得泄壓閥與振膜的其它位置之間產(chǎn)生了位差，從而擴大了泄氣路徑的尺寸，可以快速平衡前后腔的壓差。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述，本實用新型的其它特征及其優(yōu)點將會變得清楚。

附圖說明

構(gòu)成說明書的一部分的附圖描述了本實用新型的實施例，并且連同說明書一起用于解釋本實用新型的原理。

圖1是本實用新型麥克風的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型麥克風在受到較大聲壓時的狀態(tài)示意圖。

具體實施方式

現(xiàn)在將參照附圖來詳細描述本實用新型的各種示例性實施例。應(yīng)注意到：除非另外具體說明，否則在這些實施例中闡述的部件和步驟的相對布置、數(shù)字表達式和數(shù)值不限制本實用新型的范圍。

以下對至少一個示例性實施例的描述實際上僅僅是說明性的，決不作為對本實用新型及其應(yīng)用或使用的任何限制。

對于相關(guān)領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的技術(shù)和設(shè)備可能不作詳細討論，但在適當情況下，所述技術(shù)和設(shè)備應(yīng)當被視為說明書的一部分。

在這里示出和討論的所有例子中，任何具體值應(yīng)被解釋為僅僅是示例性的，而不是作為限制。因此，示例性實施例的其它例子可以具有不同的值。

應(yīng)注意到：相似的標號和字母在下面的附圖中表示類似項，因此，一旦某一項在一個附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對其進行進一步討論。

參考圖1，本實用新型公開了一種MEMS麥克風，包括具有背腔的襯底1，在所述襯底1上設(shè)置有振膜3以及背極5。本實用新型的振膜3、背極5可通過依次沉積的方式形成在襯底1上，所述襯底1可以采用單晶硅材料，所述振膜3、背極5可以采用單晶硅或者多晶硅材料，這種材料的選擇以及沉積的工藝屬于本領(lǐng)域技術(shù)人員的公知常識，在此不再具體說明。

所述背極5與振膜3構(gòu)成了平板電容器結(jié)構(gòu)，該平板電容器結(jié)構(gòu)例如可以是背極5在上、振膜3在下的方式，也可以是背極5在下、振膜3在上的方式。為了便于描述，現(xiàn)以背極5在上、振膜3在下的平板電容器結(jié)構(gòu)為例來描述本實用新型的技術(shù)方案。

為了實現(xiàn)振膜3與襯底1之間的絕緣，在所述振膜3與襯底1之間連接的位置設(shè)置有絕緣層2，該絕緣層2可以采用本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的二氧化硅材料。為了保證背極5與振膜3之間可以構(gòu)成具有一定間隙的平板電容器結(jié)構(gòu)，在所述背極5與振膜3之間還設(shè)置有用于支撐的支撐部4，所述支撐部4在起到支撐背極5的同時，還可以保證背極5與振膜3之間的絕緣。這種電容器的MEMS麥克風結(jié)構(gòu)屬于本領(lǐng)域技術(shù)人員的公知常識，在此不再具體說明。

本實用新型的MEMS麥克風，在所述背極5上設(shè)置有通孔50，使得可以均衡振膜3與背極5之間的壓力。通孔50的數(shù)量根據(jù)需要可以設(shè)置多個，均勻分布在背極5上。