[實用新型]一種MEMS麥克風

有效

• 申請號: 201720751405.8
• 申請日: 2017-06-26
• 公開（公告）號: CN207070353U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 李江龍;郝紅蕾;陳有鑫
• 申請（專利權）人: 歌爾科技有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙)11442
• 代理人: 王昭智,馬佑平

1.一種MEMS麥克風，其特征在于：包括具有背腔的襯底(1)，在所述襯底(1)上設置有由振膜(3)、背極(5)、支撐部(4)構成的平板電容器結構；所述振膜(3)上設置有由縫隙(30)限制成的泄壓閥(31)，所述背極(5)上設置有朝向振膜(3)方向延伸的凸起部(51)，所述凸起部(51)與振膜(3)泄壓閥(31)的位置相對。

2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述泄壓閥(31)設置有一個，位于振膜(3)的中心區域。

3.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述泄壓閥(31)設置有多個，均勻分布在振膜(3)的圓周方向上。

4.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述泄壓閥(31)整體呈U形、S形、矩形、梯形、圓形、半圓形或半橢圓形。

5.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述襯底(1)上形成的是背極(5)在下、振膜(3)在上的平板電容器結構。

6.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述襯底(1)上形成的是背極(5)在上、振膜(3)在下的平板電容器結構。

7.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于：所述縫隙(30)在沉積形成振膜(3)時，通過刻蝕的方式形成。