[實用新型]晶圓切割機清潔水噴霧系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720738207.8
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN207126281U
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳俊;熊強;袁志偉
• 申請（專利權(quán)）人: 珠海市中芯集成電路有限公司
• 主分類號: B01D47/06
• 分類號: B01D47/06;B05B13/02;B08B3/02;B08B3/08;H01L21/67
• 代理公司: 珠海智專專利商標(biāo)代理有限公司44262
• 代理人: 黃國豪

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其是涉及一種晶圓切割機清潔水噴霧系統(tǒng)。

背景技術(shù)

晶圓切割機是精密度極高的設(shè)備，其主軸轉(zhuǎn)速約在30000至 60000rmb之間，由于晶粒與晶粒之間的間距很小，而且晶粒又相當(dāng)脆弱，因此晶圓切割機的精度要求相當(dāng)高。切割機以磨削的方式利用刀刃出行切割，但是以磨削的方式切割，會產(chǎn)生許多小粉塵，因此在切割過程中必須不斷地用純水沖洗，以避免污染晶粒。利用純水沖洗芯片或沖洗切割的刀具，不僅起到吸收粉塵的作用，還可對刀具降溫，清洗芯片上的殘留硅粉。在切割機內(nèi)利用高壓泵作為動力將清潔水直接朝向切割機的切割刀以水柱的形式出行沖洗，該種沖洗方式?jīng)_洗不徹底，并且高壓泵內(nèi)的活塞在工作過程中磨損嚴(yán)重，活塞壽命極短，需要經(jīng)常性更換，長期以來費用較高，并且在一定程度上影響工作效率。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的主要目的是提供一種清潔徹底并且清潔效率高的晶圓切割機清潔水噴霧系統(tǒng)。

為實現(xiàn)上述的主要目的，本實用新型提供的晶圓切割機清潔水噴霧系統(tǒng)包括噴霧裝置，噴霧裝置包括第一噴嘴與第二噴嘴，第一噴嘴包括噴嘴固定塊，噴嘴固定塊的側(cè)壁上設(shè)有出水口與第一出氣口，噴嘴固定塊內(nèi)設(shè)置有噴水套筒，噴水套筒均與出水口、第一出氣口連通，噴嘴固定塊連接噴嘴固定套，噴嘴固定套的第一端內(nèi)固定有噴嘴頭，噴嘴固定套的第二端內(nèi)固定有連接套，連接套連接噴水套筒，噴水套筒、連接套與噴嘴頭相互連通，第一噴嘴的第一端設(shè)有噴霧口；第一出氣口連接第一出氣管，出水口連接出水管，第二噴嘴的側(cè)壁上設(shè)置有第二出氣口，第二噴嘴遠(yuǎn)離第二出氣口的一側(cè)設(shè)有噴氣口，噴氣口與第二出氣口連通，第二出氣口連接第二出氣管，第一出氣管、第二出氣管與出水管均與氣液分離管連接；

切割機，切割機內(nèi)設(shè)有清潔盤，噴霧口和噴氣口均朝向清潔盤；

藥水管，藥水管連接氣液分離管；

氣體機，氣體機連接氣液分離管。

由此可見，通過噴霧裝置噴出的水霧代替?zhèn)鹘y(tǒng)的水柱對切割機進(jìn)行清潔，水霧的可接觸面積更大，清洗更徹底，噴霧裝置不通過高壓泵進(jìn)行取水，因此避免可活塞磨損的情況。噴霧裝置在長期使用過程中，無需短期更換，使用壽命更長。

進(jìn)一步的方案是，第二噴嘴上設(shè)置有設(shè)有限位孔，出水管與第一出氣管均貫穿限位孔。

可見，對出水管與第二出氣管進(jìn)行限位，避免管道在切割機內(nèi)隨意擺放，影響切割清洗過程。

進(jìn)一步的方案是，氣液分離管朝向第一噴嘴的一端設(shè)有進(jìn)水口，進(jìn)水口連接出水管，氣液分離管上還設(shè)有第一進(jìn)氣口以及第二進(jìn)氣口，第一進(jìn)氣口連接第一出氣管，第二進(jìn)氣口連接第二出氣管，氣液分離管內(nèi)連接有進(jìn)水管、第一進(jìn)氣管以及第二進(jìn)氣管，進(jìn)水管連接進(jìn)水口，第一進(jìn)氣管連接第一進(jìn)氣口，第二進(jìn)氣管連接第二進(jìn)氣口，進(jìn)水管連接藥水管，第一進(jìn)氣管和第二進(jìn)氣管均連接氣體機。

可見，氣液分離管作為限位管，對連接第一噴嘴、第二噴嘴的管道進(jìn)行集中限位，避免管道在切割機內(nèi)隨意擺放，影響切割清洗過程。

進(jìn)一步的方案是，第一噴嘴、第二噴嘴以及氣液分離管均固定在固定板上，所述固定板彎曲設(shè)置。

可見，固定板上同時固定第一噴嘴、第二噴嘴宜家氣液分離管便于在清潔過程中整體的移動，固定板的彎曲設(shè)置便于適應(yīng)在切割機內(nèi)的安裝位置。

進(jìn)一步的方案是，第二噴嘴連通噴氣管，噴氣管的自由端的管口朝向清潔盤。

附圖說明

圖1是本實用新型晶圓切割機清潔水噴霧系統(tǒng)實施例的結(jié)構(gòu)框圖。

圖2是本實用新型晶圓切割機清潔水噴霧系統(tǒng)實施例中的噴霧裝置的結(jié)構(gòu)圖。

圖3是本實用新型晶圓切割機清潔水噴霧系統(tǒng)實施例中的第一噴嘴的結(jié)構(gòu)圖。

圖4是沿圖3中的A-A線剖切的剖面圖。

圖5是本實用新型晶圓切割機清潔水噴霧系統(tǒng)實施例中藥水混合裝置的結(jié)構(gòu)圖。

圖6是本實用新型晶圓切割機清潔水噴霧系統(tǒng)實施例中的抗靜電裝置的進(jìn)氣端與過濾箱的結(jié)構(gòu)圖。

圖7是本實用新型晶圓切割機清潔水噴霧系統(tǒng)實施例中的抗靜電裝置的出水端與過濾箱的結(jié)構(gòu)圖。

以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作出一步說明。

具體實施方式

本實用新型的晶圓切割機清潔水噴霧系統(tǒng)應(yīng)用在切割機切割晶圓后的清洗過程中，水霧的可接觸面積更大，利用噴霧裝置噴出的水霧代替?zhèn)鹘y(tǒng)的水柱對切割機進(jìn)行清潔，清洗更徹底，噴霧裝置不通過高壓泵進(jìn)行取水，因此避免可活塞磨損的情況。噴霧裝置在長期使用過程中，無需短期更換，使用壽命更長。