[實用新型]晶圓切割機清潔水噴霧系統

有效

• 申請號: 201720738207.8
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN207126281U
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發明（設計）人: 吳俊;熊強;袁志偉
• 申請（專利權）人: 珠海市中芯集成電路有限公司
• 主分類號: B01D47/06
• 分類號: B01D47/06;B05B13/02;B08B3/02;B08B3/08;H01L21/67
• 代理公司: 珠海智專專利商標代理有限公司44262
• 代理人: 黃國豪

1.晶圓切割機清潔水噴霧系統，其特征在于，包括：

噴霧裝置，所述噴霧裝置包括第一噴嘴與第二噴嘴，所述第一噴嘴包括噴嘴固定塊，所述噴嘴固定塊的側壁上設有出水口與第一出氣口，所述噴嘴固定塊內設置有噴水套筒，所述噴水套筒均與所述出水口、第一出氣口連通，所述噴嘴固定塊連接噴嘴固定套，所述噴嘴固定套的第一端內固定有噴嘴頭，所述噴嘴固定套的第二端內固定有連接套，所述連接套連接所述噴水套筒，所述噴水套筒、所述連接套與所述噴嘴頭相互連通，所述第一噴嘴的第一端設有噴霧口；所述第一出氣口連接第一出氣管，所述出水口連接出水管，所述第二噴嘴的側壁上設置有第二出氣口，所述第二噴嘴遠離所述第二出氣口的一側設有噴氣口，所述噴氣口與所述第二出氣口連通，所述第二出氣口連接第二出氣管，所述第一出氣管、所述第二出氣管與所述出水管均與氣液分離管連接；

切割機，所述切割機內設有清潔盤，所述噴霧口和所述噴氣口均朝向所述清潔盤；

藥水管，所述藥水管連接所述氣液分離管；

氣體機，所述氣體機連接所述氣液分離管。

2.根據權利要求1所述的晶圓切割機清潔水噴霧系統，其特征在于：

所述第二噴嘴上設置有設有限位孔，所述出水管與所述第一出氣管均貫穿所述限位孔。

3.根據權利要求2所述的晶圓切割機清潔水噴霧系統，其特征在于：

所述氣液分離管朝向所述第一噴嘴的一端設有進水口，所述進水口連接所述出水管，所述氣液分離管上還設有第一進氣口以及第二進氣口，所述第一進氣口連接所述第一出氣管，所述第二進氣口連接所述第二出氣管，所述氣液分離管內連接有進水管、第一進氣管以及第二進氣管，所述進水管連接所述進水口，所述第一進氣管連接所述第一進氣口，所述第二進氣管連接第二進氣口，所述進水管連接所述藥水管，所述第一進氣管和所述第二進氣管均連接所述氣體機。

4.根據權利要求3所述的晶圓切割機清潔水噴霧系統，其特征在于：

所述第一噴嘴、第二噴嘴以及氣液分離管均固定在固定板上，所述固定板彎曲設置。

5.根據權利要求4所述的晶圓切割機清潔水噴霧系統，其特征在于：

所述第二噴嘴連通噴氣管，所述噴氣管的自由端的管口朝向所述清潔盤。