[實用新型]一種石英玻璃蓋的激光加工裝置

有效

• 申請號: 201720734399.5
• 申請日: 2017-06-23
• 公開（公告）號: CN207685135U
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 蔣羽;蔣振偉
• 申請（專利權）人: 蘇州圖森激光有限公司
• 主分類號: C03B33/09
• 分類號: C03B33/09
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒

本實用新型公開了一種石英玻璃蓋的激光加工裝置，包括底座，設置于所述底座上的工作平臺，所述工作平臺與所述底座為彈性連接，所述工作平臺上設置有三維運動系統，所述三維運動系統連接有工控機，所述工控機連接有顯示屏；所述工作平臺的兩側還設置有立柱，所述立柱的頂部固定連接有光學平臺，所述光學平臺的頂面與所述工作平臺平行，所述光學平臺的頂面設置有所述轉折鏡組件和激光發生器；所述三維運動系統設置有用于吸附石英玻璃蓋的真空吸附平臺，所述真空吸附平臺上方設置有金剛石刀輪、所述振鏡、所述流體冷卻系統的噴嘴，所述振鏡底部安裝有透鏡；其使得加工后的石英玻璃蓋能夠提供更好的密封性能。

技術領域

本實用新型涉及激光切割技術領域，尤其涉及一種石英玻璃蓋的激光加工裝置。

背景技術

石英玻璃是二氧化硅單一成分的非晶態材料，其微觀結構是一種由二氧化硅四面結構體結構單元組成的單純網絡，由于Si-O化學鍵能很大，結構很緊密，所以石英玻璃具有獨特的性能，尤其透明石英玻璃的光學性能非常優異，在紫外到紅外輻射的連續波長范圍都有優良的透射比。因此，石英玻璃材質的石英玻璃蓋因為石英玻璃的特殊性能也得到了廣泛的應用。然而采用傳統的機械切割石英玻璃方法制成的石英玻璃蓋的斷口粗糙，導致制成的石英玻璃蓋的密封性能差。

發明內容

本實用新型的發明目的是提供一種石英玻璃蓋的激光加工裝置，使得加工后的石英玻璃蓋能夠提供更好的密封性能。

為了達到上述發明目的，本實用新型采用的技術方案是：一種石英玻璃蓋的激光加工裝置，包括底座，設置于所述底座上的工作平臺，所述工作平臺與所述底座為彈性連接，所述工作平臺上設置有三維運動系統，所述三維運動系統連接有工控機，所述工控機連接有顯示屏；所述工作平臺的兩側還設置有立柱，所述立柱的頂部固定連接有光學平臺，所述光學平臺的頂面與所述工作平臺平行，所述光學平臺的頂面設置有所述轉折鏡組件和激光發生器；所述三維運動系統設置有用于吸附石英玻璃蓋的真空吸附平臺，所述真空吸附平臺上方設置有金剛石刀輪、所述振鏡、所述流體冷卻系統的噴嘴，所述振鏡底部安裝有透鏡，所述激光發生器發出的光束經所述轉折鏡組件發射后進入所述振鏡，所述振鏡掃描以形成與加工路徑相匹配的形狀的激光光斑，通過三維運動系統動作帶動石英玻璃蓋運動，使激光光斑沿預定的切割路徑加熱石英玻璃，同時通過所述流體冷卻系統的噴嘴冷卻，通過應力使石英玻璃斷裂，其中，所述激光發生器的功率為200～300W，激光波長為10.5μm。

上述技術方案中，所述三維運動系統包括設置在所述工作平臺上的Y軸運動系統、固定在所述光學平臺側面的X軸運動系統、固定在所述X軸運動系統上的Z1軸運動系統和Z2軸運動系統、以及緊固到所述Y軸運動系統上的DD旋轉軸運動系統，所述X軸運動系統與所述Y軸運動系統垂直；所述真空吸附平臺固定連接在所述DD旋轉軸運動系統上；所述金剛石刀輪設置在所述Z1軸運動系統上；所述振鏡和所述流體冷卻系統的噴嘴設置在所述Z2軸運動系統上；通過所述X軸運動系統、Y軸運動系統和DD旋轉軸運動系統帶動石英玻璃蓋運動。

其中，所述激光發生器的功率為235W。

進一步的技術方案，所述真空吸附平臺的上方還設置有石英玻璃蓋的切割端面的粗糙度檢測裝置，所述粗糙度檢測裝置連接所述工控機。

其中，所述真空吸附平臺的上方還設置有端面研磨裝置，所述端面研磨裝置連接所述工控機，當所述粗糙度檢測裝置檢測到的端面粗糙度大于預定值時，所述端面研磨裝置對切割端面進行研磨。

上述技術方案中，所述工作平臺上設置有吸塵裝置，所述吸塵裝置與所述工控機連接。

由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：