[實用新型]一種石英玻璃蓋的激光加工裝置

有效

• 申請號: 201720734399.5
• 申請日: 2017-06-23
• 公開（公告）號: CN207685135U
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 蔣羽;蔣振偉
• 申請（專利權）人: 蘇州圖森激光有限公司
• 主分類號: C03B33/09
• 分類號: C03B33/09
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒

1.一種石英玻璃蓋的激光加工裝置，包括底座（1），設置于所述底座（1）上的工作平臺（4），所述工作平臺（4）與所述底座（1）為彈性連接，所述工作平臺（4）上設置有三維運動系統，所述三維運動系統連接有工控機（16），所述工控機（16）連接有顯示屏（14）；所述工作平臺（4）的兩側還設置有立柱（5），所述立柱（5）的頂部固定連接有光學平臺（7），所述光學平臺（7）的頂面與所述工作平臺（4）平行，所述光學平臺（7）的頂面設置有轉折鏡組件（6）和激光發生器（8）；所述三維運動系統設置有用于吸附石英玻璃蓋的真空吸附平臺（15），所述真空吸附平臺（15）上方設置有金剛石刀輪（13）、振鏡（12）、流體冷卻系統（3）的噴嘴，所述振鏡（12）底部安裝有透鏡，所述激光發生器（8）發出的光束經所述轉折鏡組件（6）發射后進入所述振鏡（12），所述振鏡（12）掃描以形成與加工路徑相匹配的形狀的激光光斑，通過三維運動系統動作帶動石英玻璃蓋運動，使激光光斑沿預定的切割路徑加熱石英玻璃，同時通過所述流體冷卻系統（3）的噴嘴冷卻，通過應力使石英玻璃斷裂，其特征在于：所述激光發生器（8）的功率為200～300W，激光波長為10.5μm；所述真空吸附平臺（15）的上方還設置有石英玻璃蓋的切割端面的粗糙度檢測裝置，所述粗糙度檢測裝置連接所述工控機（16）；所述真空吸附平臺（15）的上方還設置有端面研磨裝置，所述端面研磨裝置連接所述工控機（16），當所述粗糙度檢測裝置檢測到的端面粗糙度大于預定值時，所述端面研磨裝置對切割端面進行研磨。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述三維運動系統包括設置在所述工作平臺（4）上的Y軸運動系統（17）、固定在所述光學平臺（7）側面的X軸運動系統（9）、固定在所述X軸運動系統（9）上的Z1軸運動系統（11）和Z2軸運動系統（10）、以及緊固到所述Y軸運動系統（17）上的DD旋轉軸運動系統（2），所述X軸運動系統（9）與所述Y軸運動系統（17）垂直；所述真空吸附平臺（15）固定連接在所述DD旋轉軸運動系統（2）上；所述金剛石刀輪（13）設置在所述Z1軸運動系統（11）上；所述振鏡（12）和所述流體冷卻系統（3）的噴嘴設置在所述Z2軸運動系統（10）上；通過所述X軸運動系統（9）、Y軸運動系統（17）和DD旋轉軸運動系統（2）帶動石英玻璃蓋運動。

3.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述激光發生器（8）的功率為235W。

4.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，所述工作平臺（4）上設置有吸塵裝置，所述吸塵裝置與所述工控機連接。