[實用新型]一種活性反應離子鍍膜機有效

申請號：	201720734127.5	申請日：	2017-06-22
公開（公告）號：	CN207091506U	公開（公告）日：	2018-03-13
發明（設計）人：	王昱;黃振興	申請（專利權）人：	蘇州康頓環保科技有限公司泰州分公司
主分類號：	C23C14/30	分類號：	C23C14/30
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	225300 江蘇省泰州市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種活性反應離子鍍膜
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【權利要求書】：

1.一種活性反應離子鍍膜機，包括真空室、加熱裝置、工件、活化電極、活化電極電源、電子槍、電子槍電源、真空系統、偏壓電源和電子槍，其特征在于：所述工件位于真空室內，所述工件上端設有加熱裝置，所述加熱裝置連接位于真空室一側的偏壓電源，所述工件正下方設有活化電極，所述活化電極連接活化電極電源，所述活化電極下方設有電子槍，所述電子槍通過發出的電子束與安裝在一側的坩堝相連接，所述活化電極電源和電子槍電源相連接。

2.根據權利要求1所述一種活性反應離子鍍膜機，其特征在于：所述坩堝內填充有金屬錠。

3.根據權利要求1所述一種活性反應離子鍍膜機，其特征在于：所述活化電極、活化電極電源、電子槍、電子槍電源和坩堝相配合。

4.根據權利要求1所述一種活性反應離子鍍膜機，其特征在于：所述真空室一側設有進氣孔，所述真空室另一側設有真空系統。

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