[實用新型]用于MOCVD設備控制的集成線束

有效

• 申請號: 201720732975.2
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN206992439U
• 公開（公告）日: 2018-02-09
• 發明（設計）人: 馬繼勇
• 申請（專利權）人: 蘇州萬琦威電子技術有限公司
• 主分類號: H01R27/00
• 分類號: H01R27/00;H01R31/06;H01R13/66
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙)32256
• 代理人: 王鋒

技術領域

本申請屬于半導體設備領域，特別是涉及一種用于MOCVD設備控制的集成線束。

背景技術

MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。MOCVD是以II族、II族元素的有機化合物和V、VI族元素的氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延，生長各種III-V主族、II-VI副族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

現有技術中，MOCVD的線路連接需要用到多根獨立的線束，線束之間雜亂，連接不方便。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于MOCVD設備控制的集成線束，以克服現有技術中的不足。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

本申請實施例公開一種用于MOCVD設備控制的集成線束，包括主線束，該主線束包括并列的多根線束、以及捆綁于所述多根線束外側的線束扎扣，所述主線束的一端連接有第一連接器組件，所述主線束的另一端連接有第一分支線束、第二分支線束和第三分支線束，所述第一分支線束與控制手柄連接，所述第二分支線束的末端連接有實現門開關限位/復位、真空控制器信號單元控制的第二連接器組件，所述第三分支線束的末端連接有第四分支線束和第五分支線束，所述第四分支線束的末端連接有水流量計信號控制單元的第三連接器組件，所述第五分支線束的末端連接有機械手運動控制單元的第四連接器組件，所述第五分支線束的外側螺旋纏繞有綁帶，所述第二分支線束、第三分支線束和第四分支線束的外側固定有線束扎扣，所述主線束上于不同位置分別延伸有第六分支線束、第七分支線束和第八分支線束，所述第六分支線束的末端連接有液體泄漏檢測、真空泵信號控制單元的第五連接器組件，所述第七分支線束和第八分支線束的末端分別連接有蓋子上升接插件和蓋子下降接插件。

優選的，在上述的用于MOCVD設備控制的集成線束中，所述控制手柄上至少設置有升、降和停止按鈕。

優選的，在上述的用于MOCVD設備控制的集成線束中，所述主線束的長度為950mm；所述第三分支線束的長度為210mm；所述第五分支線束長度為1600mm。

優選的，在上述的用于MOCVD設備控制的集成線束中，每根所述線束分別包括芯線、以及依次包覆于所述芯線外部的無紡布和外護套層。

優選的，在上述的用于MOCVD設備控制的集成線束中，所述外護套層的外表面陣列形成有多個弧形凹槽，該弧形凹槽延伸方向垂直于電纜的軸向，弧形凹槽內填充有膠體，膠體的硬度小于外護套層的硬度。

優選的，在上述的用于MOCVD設備控制的集成線束中，所述外護套層材質為聚乙烯層。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于：本新型的主線束在不同位置分別引出分支線束，安裝時，便于各接插件的安裝，避免線束混亂纏繞。本新型的第五分支線束與機械手相連，由于需要拖拽，其外部通過纏繞綁帶，便于移動，牢固性好，使用壽命長。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請中記載的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1所示為本實用新型具體實施例中MOCVD設備控制的集成線束的結構示意圖；

圖2所示為本實用新型具體實施例中線束的截面圖；

圖3所示為本實用新型具體實施例中線束的外表面示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行詳細的描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。