[實用新型]用于MOCVD設備控制的集成線束

有效

• 申請號: 201720732975.2
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN206992439U
• 公開（公告）日: 2018-02-09
• 發明（設計）人: 馬繼勇
• 申請（專利權）人: 蘇州萬琦威電子技術有限公司
• 主分類號: H01R27/00
• 分類號: H01R27/00;H01R31/06;H01R13/66
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙)32256
• 代理人: 王鋒

1.一種用于MOCVD設備控制的集成線束，其特征在于，包括主線束，該主線束包括并列的多根線束、以及捆綁于所述多根線束外側的線束扎扣，所述主線束的一端連接有第一連接器組件，所述主線束的另一端連接有第一分支線束、第二分支線束和第三分支線束，所述第一分支線束與控制手柄連接，所述第二分支線束的末端連接有實現門開關限位/復位、真空控制器信號單元控制的第二連接器組件，所述第三分支線束的末端連接有第四分支線束和第五分支線束，所述第四分支線束的末端連接有水流量計信號控制單元的第三連接器組件，所述第五分支線束的末端連接有機械手運動控制單元的第四連接器組件，所述第五分支線束的外側螺旋纏繞有綁帶，所述第二分支線束、第三分支線束和第四分支線束的外側固定有線束扎扣，所述主線束上于不同位置分別延伸有第六分支線束、第七分支線束和第八分支線束，所述第六分支線束的末端連接有液體泄漏檢測、真空泵信號控制單元的第五連接器組件，所述第七分支線束和第八分支線束的末端分別連接有蓋子上升接插件和蓋子下降接插件。

2.根據權利要求1所述的用于MOCVD設備控制的集成線束，其特征在于：所述控制手柄上至少設置有升、降和停止按鈕。

3.根據權利要求1所述的用于MOCVD設備控制的集成線束，其特征在于：所述主線束的長度為950mm；所述第三分支線束的長度為210mm；所述第五分支線束長度為1600mm。

4.根據權利要求1所述的用于MOCVD設備控制的集成線束，其特征在于：每根所述線束分別包括芯線、以及依次包覆于所述芯線外部的無紡布和外護套層。

5.根據權利要求4所述的用于MOCVD設備控制的集成線束，其特征在于：所述外護套層的外表面陣列形成有多個弧形凹槽，該弧形凹槽延伸方向垂直于電纜的軸向，弧形凹槽內填充有膠體，膠體的硬度小于外護套層的硬度。

6.根據權利要求4所述的用于MOCVD設備控制的集成線束，其特征在于：所述外護套層材質為聚乙烯層。