[實用新型]一種電子元件生產的光刻裝置

有效

• 申請號: 201720725537.3
• 申請日: 2017-06-21
• 公開（公告）號: CN207008285U
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發明（設計）人: 徐月苗
• 申請（專利權）人: 諸暨越博企業管理咨詢有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 濮陽華凱知識產權代理事務所(普通合伙)41136
• 代理人: 王傳明

技術領域

本實用新型涉及電子元件生產技術領域，具體為一種電子元件生產的光刻裝置。

背景技術

電子元件是組成電子產品的基礎，了解常用的電子元件的種類、結構、性能并能正確選用是學習、掌握電子技術的基本。常用的電子元件有：電阻、電容、電感、電位器、變壓器等，就安裝方式而言，目前可分為傳統安裝(又稱通孔裝即DIP)和表面安裝兩大類(即又稱SMT或SMD)。三極管、二極管稱為電子器件。在晶圓的制造過程中，晶體三極管、二極管、電容、電阻和金屬層的各種物理部件在晶圓表面或表層內構成。這些部件是每次在一個掩膜層上生成的，并且結合生成薄膜及去除特定部分，通過光刻工藝過程，最終在晶圓上保留特征圖形的部分。

申請號為201220216139.6，名稱為一種雙面光刻裝置的實用新型專利，包括調整框、鋁蓋、鎖緊夾和鋁座架；雙面對準光刻版包括規格相同的光刻版B和光刻版A，光刻版B和光刻版A四個角上均有專用對準標記；光刻版B固定在鋁蓋上，光刻版A固定在鋁座架上，硅片置于光刻版B和光刻版A之間，通過兩個鎖緊夾將光刻版B、硅片和光刻版A牢牢固定，該實用新型改善了現有技術的工藝成本，提供一種結構性夾具，配合在光刻版圖上做出對準標記，應用機械導柱和引導腔體設計，保證上下版圖對準重復精度小于3μm，提高了勞動效率。其結構簡單巧妙，操作便捷，重復性能好。

但是其進行光刻的過程，對硅片的兩個面進行加工的時候，更換面十分不方便，影響了光刻的效率，因此設計了一種電子元件生產的光刻裝置。

實用新型內容

為了克服現有技術方案的不足，本實用新型提供一種電子元件生產的光刻裝置，通過帶有夾緊螺栓的光刻框架來固定光刻加工的硅片，可對一定尺寸范圍內的硅片進行光刻操作，而硅片通過兩個光刻版固定，可對兩個面進行曝光光刻，在使用的時候，可通可旋轉夾塊來實現光刻面的調節，可通過一臺光刻機實現硅片兩個面的加工操作，方便快捷，值得推廣。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種電子元件生產的光刻裝置，包括光刻框架，所述光刻框架內設置有夾緊螺栓，所述光刻框架內設置有硅片，所述光刻框架兩端設置有光刻版，所述光刻框架上下兩端設置有鋁蓋板，所述鋁蓋板兩端通過固定螺栓連接有可旋轉夾塊；

所述可旋轉夾塊包括夾塊主體，所述夾塊主體上設置有兩個固定螺孔，所述夾塊主體上設置有一V字開口，所述夾塊主體側面上設置有一轉軸，所述轉軸連接有支撐腿。

作為本實用新型一種優選的技術方案，所述夾緊螺栓與硅片接觸部設置有防護墊片，所述防護墊片采用硅膠材料制成。

作為本實用新型一種優選的技術方案，所述鋁蓋板上設置有若干個調平支桿，所述調平支桿與鋁蓋板相互垂直設置。

作為本實用新型一種優選的技術方案，所述光刻框架厚度大于硅片厚度。

作為本實用新型一種優選的技術方案，所述V字開口內壁上設置有防滑紋路，所述防滑紋路橫截面形狀為三角形。

作為本實用新型一種優選的技術方案，所述支撐腿下端設置有圓盤足底，所述圓盤足底內部設置有橡膠墊片。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：通過帶有夾緊螺栓的光刻框架來固定光刻加工的硅片，可對一定尺寸范圍內的硅片進行光刻操作，而硅片通過兩個光刻版固定，可對兩個面進行曝光光刻，在使用的時候，可通可旋轉夾塊來實現光刻面的調節，可通過一臺光刻機實現硅片兩個面的加工操作，方便快捷，值得推廣。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型可旋轉夾塊結構示意圖。

圖中：1-光刻框架，2-夾緊螺栓，3-硅片，4-光刻版，5-鋁蓋板，6-固定螺栓，7-可旋轉夾塊，8-夾塊主體，9-固定螺孔，10-V字開口，11-轉軸，12-支撐腿，13-防護墊片，14-調平支桿，15-防滑紋路，16-圓盤足底，17-橡膠墊片。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

實施例：