[實用新型]一種電子元件生產的光刻裝置

有效

• 申請號: 201720725537.3
• 申請日: 2017-06-21
• 公開（公告）號: CN207008285U
• 公開（公告）日: 2018-02-13
• 發明（設計）人: 徐月苗
• 申請（專利權）人: 諸暨越博企業管理咨詢有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 濮陽華凱知識產權代理事務所(普通合伙)41136
• 代理人: 王傳明

1.一種電子元件生產的光刻裝置，其特征在于：包括光刻框架(1)，所述光刻框架(1)內設置有夾緊螺栓(2)，所述光刻框架(1)內設置有硅片(3)，所述光刻框架(1)兩端設置有光刻版(4)，所述光刻框架(1)上下兩端設置有鋁蓋板(5)，所述鋁蓋板(5)兩端通過固定螺栓(6)連接有可旋轉夾塊(7)；

所述可旋轉夾塊(7)包括夾塊主體(8)，所述夾塊主體(8)上設置有兩個固定螺孔(9)，所述夾塊主體(8)上設置有一V字開口(10)，所述夾塊主體(8)側面上設置有一轉軸(11)，所述轉軸(11)連接有支撐腿(12)。

2.根據權利要求1所述的一種電子元件生產的光刻裝置，其特征在于：所述夾緊螺栓(2)與硅片(3)接觸部設置有防護墊片(13)，所述防護墊片(13)采用硅膠材料制成。

3.根據權利要求1所述的一種電子元件生產的光刻裝置，其特征在于：所述鋁蓋板(5)上設置有若干個調平支桿(14)，所述調平支桿(14)與鋁蓋板(5)相互垂直設置。

4.根據權利要求1所述的一種電子元件生產的光刻裝置，其特征在于：所述光刻框架(1)厚度大于硅片(3)厚度。

5.根據權利要求1所述的一種電子元件生產的光刻裝置，其特征在于：所述V字開口(10)內壁上設置有防滑紋路(15)，所述防滑紋路(15)橫截面形狀為三角形。

6.根據權利要求1所述的一種電子元件生產的光刻裝置，其特征在于：所述支撐腿(12)下端設置有圓盤足底(16)，所述圓盤足底(16)內部設置有橡膠墊片(17)。