[實用新型]一種大角度偏振膜的蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201720722626.2
• 申請日: 2017-06-21
• 公開（公告）號: CN207159340U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 游海斌
• 申請（專利權）人: 福州宏旭科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;G02B1/115
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及液晶投影零件領域，特別是一種大角度偏振膜的蒸鍍設備。

背景技術

這些年來，起偏器和偏振器在光學儀器上有著廣泛的應用，特別是寬角度的可見光波段的偏振分光鏡在光電類設備儀器中有著廣泛應用，其中在液晶投影器中的應用最為火熱，也是液晶投影器中一個至關重要的光學件。因為液晶的電光效應是建立在偏振光的調制作用上的，入射到液晶板上的光線需要高偏振度的光，偏振光的偏振度如何直接決定了輸出圖像的對比度好壞。雖然說偏振分光可以通過晶體的雙折射實現，但是晶體的價格昂貴，一般企業難以接受，而且晶體很難以做到大尺寸，由于兩種偏振光束不成直角關系，也不方便客戶使用。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種可以生產出在液晶投影器中替代晶體的產品的大角度偏振膜的蒸鍍設備。

一種大角度偏振膜的蒸鍍設備，包括蒸鍍腔體，蒸鍍腔體內下方設有轉盤機構，轉盤機構上設有工件夾持機構；所述蒸鍍腔體的上方設有RF離子源裝置，蒸鍍腔體內的兩側各設有一個電子蒸鍍槍裝置；所述蒸鍍腔體外設有真空系統和冷卻系統，蒸鍍腔體分別與真空系統和冷卻系統連接；所述蒸鍍腔體內還設有加熱裝置。

進一步的，所述轉盤機構包括支撐軸，支撐軸上設有旋轉底座，旋轉底座上設有導軌；所述工件夾持機構包括滑槽，滑槽上設有工件底盤，工件底盤中央設有工件夾持槽，工件夾持槽內設有多個彈性壓片；所述滑槽安裝在導軌上，可沿導軌前后滑動。

進一步的，所述冷卻系統包括水箱、制冷機，水箱與制冷機連通；所述水箱還設有出水管和回流管，出水管與蒸鍍腔體的進水口連接，回流管與蒸鍍腔體的出水口連接。

進一步的，所述真空系統包括機械泵，羅茨泵，擴散泵以及低溫水氣泵。

進一步的，所述彈性壓片包括彈簧和弧形壓片，所述弧形壓片外側設有一層工件保護層。

進一步的，所述電子蒸鍍槍裝置為日本JEOL的E形的電子槍。

本實用新型提供的一種大角度偏振膜的蒸鍍設備可以生產出大角度的多層膜偏振棱鏡，從而可以代替成本昂貴的晶體，降低液晶投影器的成本。不僅如此，本實用新型提供的一種大角度偏振膜的蒸鍍設備還具有制冷高效節能，工件夾持方便、牢固，抽真空效果好的優點。

附圖說明

圖1為本實用新型一種大角度偏振膜的蒸鍍設備的結構示意圖；

圖2為本實用新型一種大角度偏振膜的蒸鍍設備的部分結構示意圖；

圖3為本實用新型一種大角度偏振膜的蒸鍍設備的夾持機構的部分結構示意圖。

具體實施方式

為了更好的對本實用新型進行闡述，下面將結合附圖作詳細說明。

如圖1-3所示，一種大角度偏振膜的蒸鍍設備，包括蒸鍍腔體1，蒸鍍腔體1內下方設有轉盤機構，轉盤機構可以轉動。轉盤機構上設有工件夾持機構，夾持機構用于固定代加工的工件。所述蒸鍍腔體1 的上方設有RF離子源裝置4，RF離子源裝置4用于對待加工的工件進行轟擊刻蝕。蒸鍍腔體1內的兩側各設有一個電子蒸鍍槍裝置5，具體的電子蒸鍍槍裝置5為日本JEOL的E形的電子槍。電子蒸鍍槍裝置5對待加工工件進行交替蒸鍍形成大角度的多層膜偏振棱鏡。所述蒸鍍腔體1外設有真空系統和冷卻系統，蒸鍍腔體1分別與真空系統和冷卻系統連接。真空系統用于對蒸鍍腔體1內的抽真空。冷氣系統用于蒸鍍腔體1的冷卻作用。所述蒸鍍腔體1內還設有加熱裝置6，加熱裝置6用于蒸鍍腔體1的加熱。

具體的，轉盤機構包括支撐軸20，支撐軸20上設有旋轉底座21，旋轉底座21上設有導軌22。所述工件夾持機構包括滑槽30，滑槽 30上設有工件底盤31，工件底盤31中央設有工件夾持槽32，工件夾持槽32內設有多個彈性壓片。所述滑槽30安裝在導軌22上，可沿導軌22前后滑動。這種結構便于工件的取出和放入，具體的用戶在蒸鍍前，將工件底盤31拉出，然后將工件放入工件夾持槽32內，再將工件底盤移入蒸鍍腔體1內，非常的方便快捷。具體的，彈性壓片包括彈簧34和弧形壓片33，所述弧形壓片33外側設有一層工件保護層。這種結構有利于工件的牢固，也有利于保護工件在取出或者放入過程中不被損壞。