[實用新型]一種大角度偏振膜的蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201720722626.2
• 申請日: 2017-06-21
• 公開（公告）號: CN207159340U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 游海斌
• 申請（專利權）人: 福州宏旭科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;G02B1/115
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種大角度偏振膜的蒸鍍設備，其特征在于：包括蒸鍍腔體，蒸鍍腔體內下方設有轉盤機構，轉盤機構上設有工件夾持機構；所述蒸鍍腔體的上方設有RF離子源裝置，蒸鍍腔體內的兩側各設有一個電子蒸鍍槍裝置；所述蒸鍍腔體外設有真空系統和冷卻系統，蒸鍍腔體分別與真空系統和冷卻系統連接；所述蒸鍍腔體內還設有加熱裝置。

2.如權利要求1所述的一種大角度偏振膜的蒸鍍設備，其特征在于：所述轉盤機構包括支撐軸，支撐軸上設有旋轉底座，旋轉底座上設有導軌；所述工件夾持機構包括滑槽，滑槽上設有工件底盤，工件底盤中央設有工件夾持槽，工件夾持槽內設有多個彈性壓片；所述滑槽安裝在導軌上，可沿導軌前后滑動。

3.如權利要求1所述的一種大角度偏振膜的蒸鍍設備，其特征在于：所述冷卻系統包括水箱、制冷機，水箱與制冷機連通；所述水箱還設有出水管和回流管，出水管與蒸鍍腔體的進水口連接，回流管與蒸鍍腔體的出水口連接。

4.如權利要求1所述的一種大角度偏振膜的蒸鍍設備，其特征在于：所述真空系統包括機械泵，羅茨泵，擴散泵以及低溫水氣泵。

5.如權利要求2所述的一種大角度偏振膜的蒸鍍設備，其特征在于：所述彈性壓片包括彈簧和弧形壓片，所述弧形壓片外側設有一層工件保護層。

6.如權利要求1所述的一種大角度偏振膜的蒸鍍設備，其特征在于：所述電子蒸鍍槍裝置為日本JEOL的E形的電子槍。