[實用新型]WAT測試監控系統

有效

• 申請號: 201720722359.9
• 申請日: 2017-06-20
• 公開（公告）號: CN206930743U
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發明（設計）人: 田學艷;鄭春玉
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體測試技術領域，特別是涉及一種WAT測試監控系統。

背景技術

WAT(Wafer acceptance test，晶圓驗收測試)是在工藝流程結束后對芯片做的電性測量，用來檢驗各段工藝流程是否符合標準，測試項目包括器件特性測試、電容測試、接觸電阻測試、擊穿測試等。一般在WAT測試機臺上設置卡盤(chuck)，將需要測試的晶圓或者芯片放置在卡盤上，使用探針扎晶圓或者芯片上的焊墊或者凸塊，即加壓(over drive)，從而對該晶圓進行測試。

然而，在現有技術中，經常出現卡盤向晶圓供電的供電線路故障，或探針電阻增加，導致WAT測試的結果不準確。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種WAT測試監控系統，可以監控WAT測試機臺的供電線路和探針的異常情況，從而提高WAT測試的結果的準確性。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種WAT測試監控系統，一種WAT測試監控系統，用于對WAT測試機臺進行監控，所述WAT測試機臺包括卡盤以及若干個探針，其特征在于，所述WAT測試監控系統包括所述WAT測試機臺和一晶圓，其中：

所述晶圓包括第一摻雜類型的襯底、形成于所述襯底中的第二摻雜類型的阱以及若干個墊片，若干個所述墊片分別與所述阱電連接；以及

所述晶圓用于放在所述卡盤上，以使所述襯底與所述卡盤電連接；

若干個所述探針與若干個所述墊片一一對應，所述墊片用于與對應的所述探針電連接。

進一步的，所述襯底包括一個所述阱，所述WAT測試機臺還包括至少一供電線路，所述供電線路向所述卡盤供電。

進一步的，所述襯底包括一個所述阱，所述WAT測試監控系統用于測試所述供電線路，且測試時：

所有的所述探針并聯，所有的所述探針分別與對應所述墊片電連接；所有的所述探針與所述供電線路電連接，在所述供電線路、卡盤、襯底、探針之間形成一電流回路。

進一步的，所述襯底包括一個所述阱，所述供電線路與所述探針之間串聯一電流檢測裝置。

進一步的，所述襯底包括一個所述阱，所有的所述墊片通過導線并聯，以實現所有的所述探針并聯。

進一步的，所述襯底包括一個所述阱，所述WAT測試監控系統用于逐個測試所述探針，且對所述探針測試時：

所述探針分別與對應的所述墊片電連接；

除待測試的所述探針外，至少部分所述探針所對應的墊片通過導線并聯，實現剩余的所述探針并聯。

進一步的，所述襯底包括一個所述阱，在待測試的所述探針和所述并聯電阻之間串聯一電阻測試儀。

進一步的，所述襯底包括一個所述阱，通過導線將至少部分所述墊片并聯。

進一步的，所述襯底包括一個所述阱，所述晶圓還包括設置于所述襯底上的介質層，所述墊片位于所述介質層的上表面。

進一步的，所述襯底包括一個所述阱，所述墊片與所述阱通過互連結構實現電連接，所述互連結構位于所述介質層中。

進一步的，所述襯底包括一個所述阱，所述阱的上表面具有金屬化合物，所述阱與所述互連結構通過所述金屬化合物實現電連接。

進一步的，所述襯底包括一個所述阱，所述襯底包括一個所述阱，所有的所述墊片均與一個所述阱電連接。

與現有技術相比，本實用新型提供的WAT測試監控系統具有以下優點：

在本實用新型提供的WAT測試監控系統中，所述WAT測試監控系統用于對WAT測試機臺進行監控，所述WAT測試機臺包括卡盤以及若干個探針，所述WAT測試監控系統包括所述WAT測試機臺和一晶圓，其中：所述晶圓包括第一摻雜類型的襯底、形成于所述襯底中的第二摻雜類型的阱以及若干個墊片，若干個所述墊片分別與所述阱電連接；所述晶圓用于放在所述卡盤上，以使所述襯底與所述卡盤電連接；若干個所述探針與若干個所述墊片一一對應，所述墊片用于與對應的所述探針電連接。當測試所述供電線路時，所有的所述探針并聯，所有的所述探針分別與對應所述墊片電連接，在所述供電線路、卡盤、襯底、探針之間形成一電流回路，可以通過所述電流回路是否斷路，監控所述WAT測試機臺的供電線路是否存在故障。當測試所述探針時，所述探針分別與對應的所述墊片電連接；除待測試的所述探針外，剩余的所述探針中的至少部分所述探針并聯，以形成一并聯電阻，可以通過檢測待測試的所述探針和所述并聯電阻之間的阻值，監控待測試的所述探針是否存在故障。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例一中WAT測試監控系統的示意圖；