[實用新型]WAT測試監控系統

有效

• 申請號: 201720722359.9
• 申請日: 2017-06-20
• 公開（公告）號: CN206930743U
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發明（設計）人: 田學艷;鄭春玉
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

1.一種WAT測試監控系統，用于對WAT測試機臺進行監控，所述WAT測試機臺包括卡盤以及若干個探針，其特征在于，所述WAT測試監控系統包括所述WAT測試機臺和一晶圓，其中：

所述晶圓包括第一摻雜類型的襯底、形成于所述襯底中的第二摻雜類型的阱以及若干個墊片，若干個所述墊片分別與所述阱電連接；以及

所述晶圓用于放在所述卡盤上，以使所述襯底與所述卡盤電連接；

若干個所述探針與若干個所述墊片一一對應，所述墊片用于與對應的所述探針電連接。

2.如權利要求1所述的WAT測試監控系統，其特征在于，所述WAT測試機臺還包括至少一供電線路，所述供電線路向所述卡盤供電。

3.如權利要求2所述的WAT測試監控系統，其特征在于，所述WAT測試監控系統用于測試所述供電線路，且測試時：

所有的所述探針并聯，所有的所述探針分別與對應所述墊片電連接；所有的所述探針與所述供電線路電連接，在所述供電線路、卡盤、襯底、探針之間形成一電流回路。

4.如權利要求3所述的WAT測試監控系統，其特征在于，所述供電線路與所述探針之間串聯一電流檢測裝置。

5.如權利要求3所述的WAT測試監控系統，其特征在于，所有的所述墊片通過導線并聯，以實現所有的所述探針并聯。

6.如權利要求1所述的WAT測試監控系統，其特征在于，所述WAT測試監控系統用于逐個測試所述探針，且對所述探針測試時：

所述探針分別與對應的所述墊片電連接；

除待測試的所述探針外，剩余的所述探針中的至少部分所述探針并聯，以形成一并聯電阻。

7.如權利要求6所述的WAT測試監控系統，其特征在于，在待測試的所述探針和所述并聯電阻之間串聯一電阻測試儀。

8.如權利要求6所述的WAT測試監控系統，其特征在于，至少部分所述探針所對應的墊片通過導線并聯，實現剩余的所述探針并聯。

9.如權利要求1至8中任意一項所述的WAT測試監控系統，其特征在于，所述晶圓還包括設置于所述襯底上的介質層，所述墊片位于所述介質層的上表面。

10.如權利要求9所述的WAT測試監控系統，其特征在于，所述墊片與所述阱通過互連結構實現電連接，所述互連結構位于所述介質層中。

11.如權利要求10所述的WAT測試監控系統，其特征在于，所述阱的上表面具有金屬化合物，所述阱與所述互連結構通過所述金屬化合物實現電連接。

12.如權利要求1至8中任意一項所述的WAT測試監控系統，其特征在于，所述襯底包括一個所述阱，所有的所述墊片均與一個所述阱電連接。