[實用新型]基于固態(tài)和空腔結(jié)合的薄膜體聲波諧振器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720692101.9 | 申請日： | 2017-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN207460113U | 公開（公告）日： | 2018-06-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王國浩;房華;張樹民;陳海龍;汪泉 | 申請（專利權(quán)）人： | 王國浩 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10;H03H3/02 |
| 代理公司： | 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 200441 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓電薄膜換能器 布拉格反射層 固態(tài)封裝 刻蝕 薄膜 薄膜體聲波諧振器 本實用新型 背部空腔 堆疊結(jié)構(gòu) 沉積 空腔結(jié)構(gòu) 器件性能 器件正面 聲波反射 聲電轉(zhuǎn)換 壓電材料 傳統(tǒng)的 底電極 頂電極 堆疊器 反射層 穩(wěn)固性 支撐層 空腔 開口 傳播 | ||
1.一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于：包括基底、依次形成在所述基底第一表面的反射層結(jié)構(gòu)、壓電換能器堆疊結(jié)構(gòu)；在與所述基底第一表面相對的第二表面上包括空腔；所述空腔與所述壓電換能器堆疊結(jié)構(gòu)相對設(shè)置，所述壓電換能器堆疊結(jié)構(gòu)包括底電極、壓電層、頂電極的三明治結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述空腔停止在所述反射層結(jié)構(gòu)表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述反射層結(jié)構(gòu)包括布拉格反射層結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述布拉格反射層結(jié)構(gòu)包括交替沉積的多組不同材料的反射層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：還包括形成在所述基底的第二表面上的掩模層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述壓電層包括氮化鋁、壓電石英、鉭酸鋰、鈮酸鋰或四硼酸鋰。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述布拉格反射層結(jié)構(gòu)的同種材料層具有相同的厚度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述底電極覆蓋所述空腔區(qū)域并延伸至與所述頂電極相反的一端。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述頂電極、所述壓電層覆蓋所述空腔區(qū)域并延伸至與所述底電極相反的一端。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述反射層材料包括鈦、鋁、氮化鋁、鉬或者鎢至少之一。
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