[實用新型]一種PECVD機臺微波銅天線拆卸工具

有效

• 申請號: 201720683052.2
• 申請日: 2017-06-13
• 公開（公告）號: CN207415240U
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 周介青;謝賢清;喬勇
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: B25B27/00
• 分類號: B25B27/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實用新型公開了一種PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，包括固定架，所述固定架包括架主體，所述架主體上套設有滑塊，所述滑塊能夠沿著所述架主體的中心軸線方向滑動；所述架主體的兩端分別連接有連接部和沖擊部，所述連接部的外周設置有能夠與微波銅天線的端部的內螺紋相配合的外螺紋，所述沖擊部的連接所述架主體的端面尺寸大于所述滑塊的朝向所述沖擊部的端面尺寸。在進行拆卸微波銅天線時，將連接部旋入微波銅天線中實現固定架與微波銅天線連接，然后通過撥動滑塊沖擊沖擊部，利用沖擊力將微波銅天線拔出，其拆卸方便。

技術領域

本實用新型屬于太陽能領域，尤其涉及一種PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，用于太陽能電池生產過程中的PE設備。

背景技術

在太陽能電池的制備過程中，一般需要對硅片發射結面進行鍍減反射膜的步驟。目前，氮化硅薄膜作為晶體硅太陽能電池的光學減反射膜，同時也起到表面鈍化和體內鈍化的作用，以提高太陽能電池的轉換效率。

現有技術中，制備氮化硅薄膜一般采用的是等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)方法，如可以采用德國ROTH&RAU公司的PECVD設備。在采用PECVD設備制備氮化硅薄膜的過程中，在PECVD鍍膜設備的反應腔內具有一石英管，石英管的管內穿設有傳導微波的銅管，石英管的兩端設有發送和接收微波的天線，其中，天線的頭部插入石英管內部的所述銅管內，該銅管即為微波波導。由微波電源輸出高壓電流給磁控頭產生等離子體，離子又通過微波銅天線傳到微波波導傳導至工藝腔內發生反應，以達到工藝要求。而微波在傳導時會有大量熱量產生，并伴隨有靜電出現，使用一段時間后，微波銅天線與微波波導會緊密的咬合在一起，使得微波銅天線被死死的卡住，無法順利的取出。

目前在設備維護或維修更換銅天線時，需2-3名熟練的技術人員將整個微波發生裝置從機臺上拆下，然后才能取出。在取出過程中，因微波銅天線與接觸端面間隙過小，無法使用拉馬等工具，拆卸比較困難。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種拆卸方便的PECVD機臺微波銅天線拆卸工具。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，包括固定架，所述固定架包括架主體，所述架主體上套設有滑塊，所述滑塊能夠沿著所述架主體的中心軸線方向滑動；

所述架主體的兩端分別連接有連接部和沖擊部，所述連接部的外周設置有能夠與微波銅天線的端部的內螺紋相配合的外螺紋，所述沖擊部的連接所述架主體的端面尺寸大于所述滑塊的朝向所述沖擊部的端面尺寸。

作為一種優選，所述架主體為圓柱形，所述滑塊為圓柱形，所述滑塊的內部開設有通孔，所述通孔的內徑大于所述架主體的外徑，所述架主體穿過所述通孔設置。

作為一種優選，所述沖擊部為圓柱形，所述沖擊部的外徑與所述架主體的外徑之差大于所述滑塊的外徑與所述通孔的內徑之差。

作為一種優選，所述通孔的至少兩個橫截面上均繞所述通孔的中心軸線設置有若干個凹槽，每個所述凹槽中可轉動設置有一個滾珠，所述滾珠與所述架主體滾動配合。

作為一種優選，所述架主體上設置有限位環，所述滑塊滑動設置于所述沖擊部與所述限位環之間。

作為一種優選，所述滑塊的端部與所述限位環之間設置有若干個壓縮彈簧，若干個所述壓縮彈簧繞所述架主體的中心軸線均勻設置，所述壓縮彈簧在初始時，所述滑塊抵靠在所述沖擊部處。

作為一種優選，該PECVD機臺微波銅天線拆卸工具還包括位于所述固定架下方的基座，所述沖擊部與所述基座的一端之間、所述限位環與所述基座的另一端之間均連接有可伸縮支撐桿。

作為一種優選，所述滑塊包括連接為一體的第一滑塊和第二滑塊，所述第一滑塊朝向所述連接部設置，所述第二滑塊朝向所述沖擊部設置，其中，所述第二滑塊的質量大于所述第一滑塊的質量。