[實用新型]一種PECVD機臺微波銅天線拆卸工具

有效

• 申請號: 201720683052.2
• 申請日: 2017-06-13
• 公開（公告）號: CN207415240U
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 周介青;謝賢清;喬勇
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
• 主分類號: B25B27/00
• 分類號: B25B27/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，其特征在于，包括固定架(1)，所述固定架(1)包括架主體(11)，所述架主體(11)上套設有滑塊(2)，所述滑塊(2)能夠沿著所述架主體(11)的中心軸線方向滑動；

所述架主體(11)的兩端分別連接有連接部(12)和沖擊部(13)，所述連接部(12)的外周設置有能夠與微波銅天線的端部的內螺紋相配合的外螺紋，所述沖擊部(13)的連接所述架主體(11)的端面尺寸大于所述滑塊(2)的朝向所述沖擊部(13)的端面尺寸。

2.根據權利要求1所述的PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，其特征在于，所述架主體(11)為圓柱形，所述滑塊(2)為圓柱形，所述滑塊(2)的內部開設有通孔，所述通孔的內徑大于所述架主體(11)的外徑，所述架主體(11)穿過所述通孔設置。

3.根據權利要求2所述的PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，其特征在于，所述沖擊部(13)為圓柱形，所述沖擊部(13)的外徑與所述架主體(11)的外徑之差大于所述滑塊(2)的外徑與所述通孔的內徑之差。

4.根據權利要求2所述的PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，其特征在于，所述通孔的至少兩個橫截面上均繞所述通孔的中心軸線設置有若干個凹槽，每個所述凹槽中可轉動設置有一個滾珠，所述滾珠與所述架主體(11)滾動配合。

5.根據權利要求1-4任一項所述的PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，其特征在于，所述架主體(11)上設置有限位環，所述滑塊(2)滑動設置于所述沖擊部(13)與所述限位環之間。

6.根據權利要求5所述的PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，其特征在于，所述滑塊(2)的端部與所述限位環之間設置有若干個壓縮彈簧，若干個所述壓縮彈簧繞所述架主體(11)的中心軸線均勻設置，所述壓縮彈簧在初始時，所述滑塊(2)抵靠在所述沖擊部(13)處。

7.根據權利要求5所述的PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，其特征在于，還包括位于所述固定架下方的基座，所述沖擊部(13)與所述基座的一端之間、所述限位環與所述基座的另一端之間均連接有可伸縮支撐桿。

8.根據權利要求1-4任一項所述的PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，其特征在于，所述滑塊(2)包括連接為一體的第一滑塊和第二滑塊，所述第一滑塊朝向所述連接部(12)設置，所述第二滑塊朝向所述沖擊部(13)設置，其中，所述第二滑塊的質量大于所述第一滑塊的質量。

9.根據權利要求8所述的PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，其特征在于，所述第一滑塊和/或所述第二滑塊的外周繞自身的中心軸線均勻設置有多個把手，所述把手為U型結構，所述把手的表面設置有防滑耐磨層。

10.根據權利要求1-4任一項所述的PECVD機臺微波銅天線拆卸工具，其特征在于，所述固定架(1)與所述滑塊(2)均為金屬材質。