[實用新型]一種單晶體硅加工用拋光裝置

有效

• 申請號: 201720669753.0
• 申請日: 2017-06-10
• 公開（公告）號: CN206839815U
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發明（設計）人: 李秀春
• 申請（專利權）人: 福建鑫隆光伏科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B49/16;B24B41/06;B24B41/00
• 代理公司: 北京天奇智新知識產權代理有限公司11340
• 代理人: 曾捷

1.一種單晶體硅加工用拋光裝置，包括托盤（9）和桌面（12），其特征在于：所述桌面（12）上固定連接有套環（3），所述套環（3）內設有托盤（9），所述托盤（9）下表面通過彈簧（11）固定連接于頂板（10），所述頂板（10）下表面中心處與液壓桿（8）的伸縮端固定連接，所述液壓桿（8）固定在機架（6）上，所述桌面（12）的一側與立柱（14）的底端固定連接，所述立柱（14）的頂部安裝有電機（1），所述電機（1）的輸出轉軸上安裝有拋光盤（2），所述桌面（12）的另一側安裝有開關盒（4），所述機架（6）上還安裝有真空泵（7）。

2.根據權利要求1所述的一種單晶體硅加工用拋光裝置，其特征在于：所述套環（3）的兩側均設有用于單晶硅切片通過的通槽（13），所述通槽（13）與桌面（12）以及托盤（9）的上表面重合，所述拋光盤（2）、套環（3）和托盤（9）的中心位于同一豎直線上。

3.根據權利要求1所述的一種單晶體硅加工用拋光裝置，其特征在于：所述托盤（9）的內部設有空腔（903），所述托盤（9）的上表面設置有第一氣孔（901）和第二氣孔（902），所述第一氣孔（901）呈同心圓分布，且第一氣孔（901）位于第二氣孔（902）的外側。

4.根據權利要求3所述的一種單晶體硅加工用拋光裝置，其特征在于：所述空腔（903）與導管（5）的頂端連通，所述導管（5）的另一端連接于真空泵（7）。

5.根據權利要求1所述的一種單晶體硅加工用拋光裝置，其特征在于：所述托盤（9）的頂部固定連接有防滑墊（15），所述防滑墊（15）由橡膠制成，所述彈簧（11）呈圓環形且間隔分布。

6.根據權利要求1所述的一種單晶體硅加工用拋光裝置，其特征在于：所述開關盒（4）分別與電機（1）、真空泵（7）以及驅動液壓桿（8）的液壓泵電性連接。